珠海市威兆半导体有限公司张俊获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海市威兆半导体有限公司申请的专利一种防飞溅的蒸镀装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224172837U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520986725.6，技术领域涉及：C23C14/30；该实用新型一种防飞溅的蒸镀装置是由张俊设计研发完成，并于2025-05-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种防飞溅的蒸镀装置在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体蒸镀设备技术领域，公开了一种防飞溅的蒸镀装置，包括：蒸镀主体、蒸镀衬套及第一凹台，所述蒸镀主体的上表面设有至少一蒸镀容置槽，所述蒸镀衬套配置在所述蒸镀容置槽内，且包括底壁连接体和侧壁连接体，所述侧壁连接体连接在所述底壁连接体上，且相对于所述底壁连接体而沿所述蒸镀容置槽的槽底至槽口方向渐扩，以构建一顶端开口的蒸镀材料承载腔，所述第一凹台配置在所述蒸镀衬套和所述蒸镀容置槽之间，且连接在所述底壁连接体背离所述侧壁连接体的一端，以及所述第一凹台与所述蒸镀容置槽、所述底壁连接体和所述侧壁连接体同心设置。本申请提高蒸镀可靠性及综合性能。
本实用新型一种防飞溅的蒸镀装置在权利要求书中公布了：1.一种防飞溅的蒸镀装置，其特征在于，包括：蒸镀主体、蒸镀衬套及第一凹台，所述蒸镀主体的上表面设有至少一蒸镀容置槽，所述蒸镀衬套配置在所述蒸镀容置槽内，且包括底壁连接体和侧壁连接体，所述侧壁连接体连接在所述底壁连接体上，且相对于所述底壁连接体而沿所述蒸镀容置槽的槽底至槽口方向渐扩，以构建一顶端开口的蒸镀材料承载腔，所述第一凹台配置在所述蒸镀衬套和所述蒸镀容置槽之间，且连接在所述底壁连接体背离所述侧壁连接体的一端，以及所述第一凹台与所述蒸镀容置槽、所述底壁连接体和所述侧壁连接体同心设置，以减少所述底壁连接体与所述蒸镀容置槽的接触面积。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人珠海市威兆半导体有限公司，其通讯地址为：519000 广东省珠海市高新区唐家湾镇金园二路333号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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