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龙图腾网获悉天津朋通科技有限公司申请的专利一种基片预处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224172833U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521126750.3，技术领域涉及：C23C14/02；该实用新型一种基片预处理装置是由刘海东;杨雨设计研发完成，并于2025-06-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基片预处理装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种基片预处理装置，包括真空腔体、上部加热单元、基片承载单元和射频功率单元；真空腔体上端与上部加热单元密封配合，真空腔体下端与基片承载单元密封连接，内部形成预处理腔，上部加热单元位于预处理腔内下端部布设有加热灯管；基片承载单元包括阳极法兰、固定于阳极法兰上端的屏蔽罩、置于屏蔽罩上部的温控阳极板、连接温控阳极板与阳极法兰的陶瓷断路器、上下设置于陶瓷断路器内的耐高温绝缘堵头和绝缘套管、上端与阳极板内的介质流道连通的温控介质输入、输出管；射频防护箱固定于阳极法兰下方，射频匹配器安装于射频防护箱外，射频匹配器输出线通过功率传输夹与温控介质输入管和输出管电连接。本装置达到了较好的工艺适用性。

本实用新型一种基片预处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基片预处理装置，其特征在于：包括真空腔体、上部加热单元、基片承载单元、射频功率单元； 所述真空腔体的上端与上部加热单元密封配合，所述真空腔体的下端与基片承载单元密封连接，内部形成预处理腔，所述上部加热单元位于预处理腔内的下端部布设有加热灯管；在真空腔体的侧壁上设置有多处接口，在多处接口处分别连接有真空泵、真空测量计、工艺气体输入接口、破真空组件； 所述基片承载单元包括阳极法兰、屏蔽罩、温控阳极板、陶瓷断路器、耐高温绝缘堵头、绝缘套管、温控介质输入管、温控介质输出管；所述阳极法兰设置于真空腔体的下端，并与真空腔体固定连接；所述屏蔽罩为上端设置有圆台下端设置有法兰的筒状屏蔽罩，所述屏蔽罩的下端法兰与阳极法兰的上端固定连接；所述陶瓷断路器内置于屏蔽罩内孔中，陶瓷断路器的下端与阳极法兰的上端固定连接；所述温控阳极板的下端与陶瓷断路器的上端固定连接，所述温控阳极板的上部从屏蔽罩的上部圆台上端伸出，其上端构成基片托盘或基片的支撑面，并在温控阳极板的上部内制有均布设置的介质流道，在陶瓷断路器内孔中上部安装有耐高温绝缘堵头，下部固定有绝缘套管；所述温控介质输入管和温控介质输出管上下穿过耐高温绝缘堵头上的管孔及绝缘套管的内孔，两管的上端与温控阳极板固定，并与内置的介质流道连通，两管的下端延伸至阳极法兰的下方，温控介质输入管的下端构成介质入口，温控介质输出管的下端构成介质回流口，通过介质入口和介质回流口与外设置的介质供应装置连接； 所述射频功率单元包括射频防护箱、射频匹配器，所述射频防护箱通过外壳法兰固定于阳极法兰的下方，使温控介质输入管和温控介质输出管位于射频防护箱内部，所述射频匹配器安装于射频防护箱外，射频匹配器的输出线通过功率传输夹具与温控介质输入管和温控介质输出管电连接。

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