无锡邑文微电子科技股份有限公司;江苏邑文微电子科技有限公司刘典获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡邑文微电子科技股份有限公司;江苏邑文微电子科技有限公司申请的专利一种导流组件及快速退火炉获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224172799U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521009330.7，技术领域涉及：C21D9/00；该实用新型一种导流组件及快速退火炉是由刘典;许伏龙;金雪飞;刘丹设计研发完成，并于2025-05-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种导流组件及快速退火炉在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种导流组件及快速退火炉，属于半导体加工技术领域。导流组件设于快速退火炉的反应腔体中，反应腔体沿第一方向开设有进气口和出气口；导流组件包括隔板组件和支撑针，隔板组件包括沿竖直方向间隔设置、分别支撑于反应腔体的第一隔板和第二隔板，第一隔板和第二隔板之间形成间隙，间隙沿第一方向的两端分别与进气口和出气口连通；加热组件设于隔板组件沿竖直方向的两侧且设于间隙之外，第一方向和竖直方向呈夹角设置；支撑针设于第二隔板上、且设于间隙内，支撑针用于支撑产品，能够确保产品工艺结果数据的均匀性，结构简单，能够降低加工、装配和维护的难度。
本实用新型一种导流组件及快速退火炉在权利要求书中公布了：1.一种导流组件，其特征在于，设于快速退火炉的反应腔体100中，所述反应腔体100沿第一方向开设有进气口和出气口120；所述导流组件包括： 隔板组件1，包括沿竖直方向间隔设置、分别支撑于所述反应腔体100的第一隔板11和第二隔板12，所述第一隔板11和所述第二隔板12之间形成间隙，所述间隙沿所述第一方向的两端分别与所述进气口和所述出气口120连通；加热组件设于所述隔板组件1沿所述竖直方向的两侧且设于所述间隙之外，所述第一方向和所述竖直方向呈夹角设置； 支撑针2，设于所述第二隔板12上、且设于所述间隙内，所述支撑针2用于支撑产品300。
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