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青岛金汇源电子有限公司李中亮获国家专利权

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龙图腾网获悉青岛金汇源电子有限公司申请的专利一种用于碳化硅晶片抛光装置及抛光方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121624973B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610148130.2,技术领域涉及:B24B29/02;该发明授权一种用于碳化硅晶片抛光装置及抛光方法是由李中亮;朱兆祥;王民;柳明义;程文娟;徐海涛设计研发完成,并于2026-02-03向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于碳化硅晶片抛光装置及抛光方法在说明书摘要公布了:本发明涉及碳化硅晶片抛光技术领域,且公开了一种用于碳化硅晶片抛光装置及抛光方法,包括控制柜,所述控制柜的表面固定连接有透明玻璃,所述控制柜的表面铰接有柜门,所述控制柜的下表面连通有排放阀,所述控制柜的内部设置有固定部件;所述固定部件包括精密气缸,所述精密气缸的顶部与控制柜的内壁固定连接,所述精密气缸的下表面固定连接有固定环。本发明启动电动杆推动防护架一向上移动,防护架一在移动时会推动抛光环向上移动,使得抛光环与抛光盘之间有足够的空间让操作人员对碳化硅晶片进行上下料作业,此时操作人员便可以将碳化硅晶片安装在固定部件的内部,利用固定部件对碳化硅晶片进行固定,提高碳化硅晶片在上下料时的便捷性。

本发明授权一种用于碳化硅晶片抛光装置及抛光方法在权利要求书中公布了:1.一种用于碳化硅晶片抛光装置,包括控制柜1、动力装置一15和动力装置二9,其特征在于,所述控制柜1的内部设置有固定部件18; 所述固定部件18包括: 支撑组件,支撑组件安装在控制柜1的内部,用于对碳化硅晶片支撑; 夹持组件,夹持组件安装在支撑组件的内部,通过支撑组件对夹持组件进行限位,夹持组件用于对碳化硅晶片夹持固定; 支撑组件包括固定环30、双向伸缩架31、精密气缸32和双向电推杆33,所述精密气缸32的顶部与控制柜1的内壁固定连接,所述精密气缸32的底部与固定环30的表面固定连接,精密气缸32用于对固定环30的调节,所述固定环30的内壁与双向伸缩架31的中心表面固定连接,所述固定环30的内壁与双向电推杆33的中心表面固定连接,所述双向伸缩架31的数量设置有多个,多个所述双向伸缩架31以固定环30为中心对称设置; 夹持组件包括定位板34、夹持板37和防滑垫38,所述定位板34的表面与双向伸缩架31的端部固定连接,所述定位板34靠近双向伸缩架31的一端与夹持板37的表面固定连接,所述夹持板37远离定位板34的一端与防滑垫38的表面固定连接; 所述动力装置一15的输出端固定连接有十字架13,所述十字架13的端部固定连接有抛光环8,所述动力装置二9的输出端固定连接有抛光盘12,所述抛光环8位于抛光盘12的上方,且抛光环8与抛光盘12之间设置有间隙,所述抛光环8与抛光盘12相互靠近的一端与碳化硅晶片36的表面接触; 所述双向伸缩架31的表面设置有稳定部件19,所述固定环30的内部设置有换位部件20; 所述稳定部件19包括固定板50,所述固定板50的下表面与双向伸缩架31的中心表面固定连接,所述固定板50的上表面固定连接有电动延伸杆51,所述电动延伸杆51的伸缩端固定连接有弧形板52,所述弧形板52的端部固定连接有限位板53,所述限位板53的表面固定连接有双向夹持杆54,所述双向夹持杆54的伸缩端固定连接有弯板56,所述弯板56远离双向夹持杆54的一端固定连接有挤压板57,所述挤压板57远离弯板56的一端固定连接有橡胶块55; 所述换位部件20包括支架63,所述支架63的顶部与精密气缸32的底部固定连接,所述支架63远离精密气缸32的一端固定连接有驱动装置62,所述驱动装置62的输出端固定连接有啮合盘60,所述啮合盘60的表面啮合有凹槽环61,所述凹槽环61的内壁固定连接有橡胶环64,所述凹槽环61的表面开设有稳定槽65,所述稳定槽65的内壁与双向伸缩架31的中心表面转动连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人青岛金汇源电子有限公司,其通讯地址为:266000 山东省青岛市黄岛区滨海大道南山川路东(黄岛区委党校);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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