买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉上海车仪田科技有限公司申请的专利一种半导体腔室泄露检测系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121612509B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610129135.0，技术领域涉及：G01M3/22；该发明授权一种半导体腔室泄露检测系统及方法是由张南南;张黎明;赵磊;甄静伟设计研发完成，并于2026-01-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体腔室泄露检测系统及方法在说明书摘要公布了：本申请涉及一种半导体腔室泄露检测系统及方法，半导体腔室泄露检测系统包括通路模块；激光发射器，向激光通道内发射激光；分束镜，部分激光透过分束镜后形成第一激光，其余部分激光被分束镜反射后形成第二激光并进入探测通道；激光管路，反射第一激光以形成第三激光；抽气模块；探测模块，接收第二激光和第三激光，以进行分析并判断半导体腔室的泄露情况。半导体腔室泄露检测方法包括以下步骤，将激光管路的气帽置于待测点位；采集第一探测器的信号和第二探测器的信号，并转换为气体浓度值C；设定标准值；将气体浓度值C与标准值进行对比，以判断是否发生泄漏。本发明能有效应用于半导体设备的狭小空间，并实现高精度检测。

本发明授权一种半导体腔室泄露检测系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体腔室泄露检测系统，其特征在于，包括： 通路模块，包括沿第一方向贯穿设置的激光通道、沿第二方向贯穿设置的探测通道，以及沿第二方向设置的抽气通道；所述探测通道与所述激光通道连通，并形成连通腔，所述抽气通道与所述激光通道连通并与所述探测通道具有间隔； 激光发射器，设于所述激光通道的一端，以向所述激光通道内发射激光； 分束镜，设于所述连通腔，以使部分所述激光透过所述分束镜后形成第一激光，其余部分所述激光被所述分束镜反射后形成第二激光并进入所述探测通道； 激光管路，设于所述激光通道的另一端；所述激光管路为空心光纤，所述激光管的端部设有气帽；所述气帽套设于所述激光管路的端部且所述气帽侧壁开设有气孔，以使气体经由所述气孔进入所述激光管路；所述气帽内设有反射镜，所述反射镜用于反射所述第一激光以形成第三激光；以第二激光的激光信号作为参考信号，将第三激光的激光信号作为探测信号，对探测信号和参考信号进行分析，判断是否发生泄漏； 抽气模块，连通于所述抽气通道，用于抽气以使气体经由所述激光管路的端部进入所述抽气通道； 探测模块，设于所述探测通道的端部，以接收所述第二激光和所述第三激光，以进行分析并判断所述半导体腔室的泄露情况。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海车仪田科技有限公司，其通讯地址为：201114 上海市闵行区新骏环路138号2幢102、202室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。