麦峤里(上海)半导体科技有限责任公司施朱斌获国家专利权
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龙图腾网获悉麦峤里(上海)半导体科技有限责任公司申请的专利一种基于交互式特征学习的半导体晶圆视觉检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121563979B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610079149.6,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权一种基于交互式特征学习的半导体晶圆视觉检测方法是由施朱斌;刘相华;许志达;聂圣国;孔刘勇设计研发完成,并于2026-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于交互式特征学习的半导体晶圆视觉检测方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种基于交互式特征学习的半导体晶圆视觉检测方法,包括:包括模型训练阶段和在线检测阶段;所述模型训练阶段包括以下步骤:输入半导体晶圆的数字图像;通过人机交互界面从所述数字图像中手动框选出目标区域;对所述目标区域图像进行预处理,得到优化后的图像;对所述优化后的图像进行轮廓边缘检测和特征向量提取;基于提取的特征参数构建标准参数集并存入数据库;训练AI模型以识别成像异常类别,并建立异常类别数据库;所述在线检测阶段包括以下步骤:利用训练好的AI模型对新的图像样本进行分析,若检测到异常,则人工介入;若未检测到异常,利用所述标准参数集,对新的图像样本进行特征识别。
本发明授权一种基于交互式特征学习的半导体晶圆视觉检测方法在权利要求书中公布了:1.一种基于交互式特征学习的半导体晶圆视觉检测方法,其特征在于,包括模型训练阶段和在线检测阶段;所述模型训练阶段包括以下步骤: 输入半导体晶圆的数字图像; 通过人机交互界面从所述数字图像中手动框选出目标区域; 对所述目标区域图像进行预处理,得到优化后的图像; 对所述优化后的图像进行轮廓边缘检测和特征向量提取; 基于提取的特征参数构建标准参数集并存入数据库; 训练AI模型以识别成像异常类别,并建立异常类别数据库; 所述在线检测阶段包括以下步骤:利用训练好的AI模型对新的图像样本进行分析,若检测到异常,则人工介入;若未检测到异常,利用所述标准参数集,对新的图像样本进行特征识别; 所述预处理包括二值化的步骤,所述二值化包括: 基于灰度直方图的峰值-谷值检测,自动识别灰度分布的峰谷个数K作为阈值数量; 按照峰值位置将灰度范围0-255划分为K+1个区间,每个区间输出一个最优阈值,形成多阈值集合以实现多目标同时分割; 在峰值附近±n个灰度值范围内计算类间方差,n为自然数,以压缩搜索空间; 对每个区间,通过以下公式计算候选阈值: 其中Scoret为候选阈值,=1,通过样本训练确定,的值,为类间方差,为局部灰度熵均值,为全局灰度熵; 比较各区间的候选阈值,选择候选阈值最大者,确定为最佳分割阈值; 根据THRESH_BINARY公式进行二值化处理。
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