上海广川科技有限公司张华获国家专利权
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龙图腾网获悉上海广川科技有限公司申请的专利一种除尘式晶圆传输机械手及其机器人获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121004622B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511228118.4，技术领域涉及：B25J15/00；该发明授权一种除尘式晶圆传输机械手及其机器人是由张华;武一鸣;王贺明;刘源;李瑞;张姗设计研发完成，并于2025-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种除尘式晶圆传输机械手及其机器人在说明书摘要公布了：本发明提供了一种除尘式晶圆传输机械手及其机器人，其中该机械手包括：手指基座、伸缩器、推杆、除尘组件，其中所述手指基座上设有设备腔，所述设备腔一侧设有轴孔，所述除尘组件包括：吸尘件、气管，所述吸尘件内设有吸尘腔，所述吸尘件上分别设有贯穿吸尘腔的净化孔，及与吸尘腔连通的吸尘口，其中所述吸尘件设置在轴孔处，所述净化孔与轴孔连通，所述伸缩器设置在设备腔内，所述推杆穿过轴孔、净化孔与伸缩器驱动端连接，所述气管与吸尘口连通并接入负压源，经净化孔在推杆周向形成负压屏障封闭轴孔。籍此防止碎屑颗粒污染物自机械手内腔外泄。
本发明授权一种除尘式晶圆传输机械手及其机器人在权利要求书中公布了：1.一种除尘式晶圆传输机械手，其包括：手指基座、伸缩器、推杆、除尘组件，其中所述手指基座上设有设备腔，所述设备腔一侧设有轴孔，所述除尘组件包括：吸尘件、气管，所述吸尘件包括：吸附块、密封垫，所述吸附块上设有气路凹槽，一吸尘口设置在吸附块上与气路凹槽连通，所述气路凹槽上设有净化口，所述密封垫与吸附块连接，封盖在气路凹槽上以在吸附块内定义出吸尘腔，所述密封垫上设有伸缩口，其与净化口连通组成贯穿吸尘腔的净化孔，其中所述吸尘件设置在轴孔处，所述净化孔与轴孔连通，所述伸缩器设置在设备腔内，所述推杆穿过轴孔、净化孔与伸缩器驱动端连接，所述气管与吸尘口连通并接入负压源，经净化孔在推杆周向形成负压屏障封闭轴孔。
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