江苏峰博装备技术有限公司刘正伟获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏峰博装备技术有限公司申请的专利一种具有装载口门闸的回流焊设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120914146B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511328881.4,技术领域涉及:H10P72/00;该发明授权一种具有装载口门闸的回流焊设备是由刘正伟;吴昊阳;马小雷设计研发完成,并于2025-09-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有装载口门闸的回流焊设备在说明书摘要公布了:本发明公开了一种具有装载口门闸的回流焊设备,涉及回流焊技术设备领域,包括腔体底板,腔体底板的顶端开设有若干圆形安装孔,腔体底板的一侧设置有装载口门闸机构,装载口门闸机构一侧的顶端设置有过渡型腔机构,且靠近装载口门闸机构的圆形安装孔底端设置有与过渡型腔机构相配合的顶针升降机构,顶针升降机构的顶端设有与过渡型腔机构相配合的密封盘体组件,过渡型腔机构顶端一侧的一端设置有充氮排氧组件,充氮排氧组件中部的一侧设置有自动调节压装置。本发明适用于高真空无氧环境下大型及超大型工艺腔体的装载口,与同类产品相比,具有降低半导体制造的成本,结构简单,适配性强,易维护的特点。
本发明授权一种具有装载口门闸的回流焊设备在权利要求书中公布了:1.一种具有装载口门闸的回流焊设备,包括腔体底板1,其特征在于,所述腔体底板1的顶端开设有若干圆形安装孔2,所述腔体底板1的一侧设置有装载口门闸机构3,所述装载口门闸机构3一侧的顶端设置有过渡型腔机构4,且靠近所述装载口门闸机构3的所述圆形安装孔2底端设置有与所述过渡型腔机构4相配合的顶针升降机构5,所述顶针升降机构5的顶端设有与所述过渡型腔机构4相配合的密封盘体组件6,所述过渡型腔机构4顶端一侧的一端设置有充氮排氧组件7,所述充氮排氧组件7中部的一侧设置有自动调节压装置8; 所述过渡型腔机构4包括设置在所述装载口门闸机构3一侧顶端的过渡型腔主体401,所述过渡型腔主体401的底端开设有与所述顶针升降机构5相配合的圆形升降口402,所述过渡型腔主体401的一侧开设有与所述装载口门闸机构3相配合的型腔装载口403,所述过渡型腔主体401的顶端中部设置有型腔观察窗404,所述过渡型腔主体401的顶端一侧开设有型腔矩形孔405,所述型腔矩形孔405的顶端设置有型腔盖板406,所述过渡型腔主体401的顶端另一侧的一端贯穿设置有VCR接头407,所述VCR接头407的底端设置有气体扩张组件408,用于控制过渡型腔主体401内气体环境,以确保晶圆在回流焊过程中的品质; 其中,所述气体扩张组件408包括设置在所述VCR接头407底端的加速管4081,且所述加速管4081的中部内径小于顶端与底端内径,所述加速管4081的中部内侧设置有加速喷嘴4082,所述加速管4081的底部一侧设置有锥形口4083,所述加速管4081的底端设置有L形连接管4084,所述L形连接管4084的一端设置有环形扩散管4085; 所述环形扩散管4085内侧开设有与所述L形连接管4084相连接的扩散通道40851,所述扩散通道40851内部设置有与所述环形扩散管4085外侧相连接的环形挡板40852,且所述环形挡板40852的顶端设置为弧形结构; 所述扩散通道40851被所述环形挡板40852分为进气通道40853与出气通道40854,所述进气通道40853的内径尺寸从下而上逐渐增大,所述出气通道40854的内径尺寸从上而下逐渐减小,且所述出气通道40854与所述环形挡板40852的顶端之间形成环形扩散口40855。
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