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龙图腾网获悉深圳市领驭指南科技有限公司申请的专利等离子气相沉积三氧化二铝的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120425320B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510485084.0，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权等离子气相沉积三氧化二铝的方法是由徐日;章平设计研发完成，并于2025-04-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本等离子气相沉积三氧化二铝的方法在说明书摘要公布了：本申请提供一种等离子气相沉积三氧化二铝的方法，包括如下步骤，将ETFE膜送入真空反应腔的预处理区以进行等离子体清洁与活化；移送清洁后的ETFE膜至真空反应腔的沉积区，以50–80°C的温度加热ETFE膜；将甲基丙烯酸铝注入蒸发器内以气化，将氧气混入甲基丙烯酸铝蒸汽后两者一同注入沉积区，甲基丙烯酸铝的输送流量为0.1–1sccm，氧气的输送流量为5–20sccm；启动射频电源以在沉积区激发等离子体，射频功率为50–500W；将生成Al2O3的ETFE膜移送至真空反应腔的后处理区，进行氧气等离子体退火操作，真空反应腔的真空度为0.1‑5Pa。该方法得到的涂层具有较好的厚度均匀性、粗糙度较小和较少副产物的优势，从而使得产品具有较好的阻隔性、耐化学性和机械性能。

本发明授权等离子气相沉积三氧化二铝的方法在权利要求书中公布了：1.一种等离子气相沉积三氧化二铝的方法，其特征在于，包括如下步骤： 将ETFE膜送入真空反应腔的预处理区，并在所述预处理区进行等离子体清洁与活化； 移送清洁后的所述ETFE膜至所述真空反应腔的沉积区，以50–80°C的温度加热所述ETFE膜； 将甲基丙烯酸铝注入蒸发器内以气化，将氧气混入甲基丙烯酸铝蒸汽后两者一同注入所述沉积区，惰性气体注入所述沉积区作为载气，所述甲基丙烯酸铝的输送流量为0.2–0.5sccm，所述氧气的输送流量为10–15sccm； 启动射频电源以在所述沉积区激发等离子体，使得Al2O3生成在所述ETFE膜表面，射频功率为100–300W； 将生成Al2O3的所述ETFE膜移送至所述真空反应腔的后处理区，进行氧气等离子体退火操作，功率为100W，时间为2分钟，上述步骤中所述真空反应腔的真空度为0.1-5Pa，通过卷对卷工艺输送所述ETFE膜，所述ETFE膜的移动速度为0.5–2mmin。

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