株式会社斯库林集团岩崎孝弘获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板姿势变更装置以及基板处理装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118629925B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410254034.7,技术领域涉及:H10P72/30;该发明授权基板姿势变更装置以及基板处理装置是由岩崎孝弘设计研发完成,并于2024-03-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板姿势变更装置以及基板处理装置在说明书摘要公布了:本发明涉及将由彼此平行地排列于沿着基板的主面的输送方向上的复数个输送辊输送的基板在第一姿势与第二姿势之间进行变更的姿势变更技术。本发明的基板姿势变更装置中,能实现输送辊的窄间距化。本发明将复数个输送辊分组为由在输送方向上彼此相邻的复数根输送辊构成的复数个输送辊组。另外,针对每个输送辊组,输送辊的两端部被辊支承部支承为自由旋转。另外,针对每个辊支承部,设置有转动部,利用基于转动部的辊支承部的转动,以输送辊组为单位,在第一姿势和第二姿势间切换输送辊。而且,针对每个辊支承部,设置有驱动部,由电动机产生的驱动力向直接驱动辊传递,且经由直接驱动辊向间接驱动辊传递,被该辊支承部支承的全部输送辊同步地旋转。
本发明授权基板姿势变更装置以及基板处理装置在权利要求书中公布了:1.一种基板姿势变更装置,将由彼此平行地排列于沿着基板的主面的输送方向上的复数个输送辊沿所述输送方向输送的所述基板的姿势在第一姿势和比所述第一姿势倾斜的第二姿势之间进行变更,其特征在于, 具有: 辊支承机构,将所述复数个输送辊分组为复数个输送辊组,所述输送辊组由在所述输送方向上彼此相邻的复数根的输送辊构成,针对每个所述输送辊组,将构成该输送辊组的所述输送辊的两端部由与该输送辊组对应地设置的辊支承部支承为自由旋转; 转动机构,针对每个所述辊支承部,利用与该辊支承部对应地一体地设置的转动部,使该辊支承部在被该辊支承部支承的所述输送辊的一端侧绕与所述输送方向平行的转动轴转动,从而将由该辊支承部支承的所述输送辊在所述第一姿势与所述第二姿势之间进行切换;以及 驱动机构,针对每个所述辊支承部,利用与该辊支承部对应地设置的驱动部来驱动被该辊支承部支承的所述输送辊, 在将所述输送辊中的与该驱动部对应的一根所述输送辊定义为直接驱动辊,并将所述输送辊中的剩余的所述输送辊定义为间接驱动辊时,各所述驱动部具有: 电动机,产生驱动力; 一侧动力传递部,将所述驱动力从所述电动机向所述直接驱动辊的一端部传递;以及 另一侧动力传递部,将利用所述驱动力旋转的所述直接驱动辊的旋转力在所述直接驱动辊的另一端侧向所述间接驱动辊传递, 所述一侧动力传递部具有旋转轴,所述旋转轴在沿所述输送方向延伸设置的状态下,相对于所述辊支承部旋转自如地被轴支承, 在所述一侧动力传递部的所述旋转轴中的与所述电动机的旋转轴相向的第一位置,将所述电动机产生的驱动力传递至所述一侧动力传递部的所述旋转轴,并且在所述一侧动力传递部的所述旋转轴中的与所述直接驱动辊的一端部正交并相向的第二位置,将传递至所述一侧动力传递部的所述旋转轴的驱动力传递至所述直接驱动辊。
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