买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉楚赟精工科技(上海)有限公司申请的专利气体注入机构的制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117926224B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410031059.0，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权气体注入机构的制作方法是由邢志刚;张志明;刘雷设计研发完成，并于2022-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本气体注入机构的制作方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种用于气相反应装置的气体注入机构的制作方法，气体注入机构包括位于中间区域的第一气体注入机构，以及位于外围区域的第二气体注入机构。第二气体注入机构的制作方法包括沿着使气体从第二气体注入机构喷出形成旋转气流的旋转方向与位于气相反应装置中和气体注入机构相对设置的承载盘在反应过程中的旋转方向一致的方向形成若干锥体状通道后再形成与所述锥体状通道一一对应连通的管状通道，且设置隔离件将所述第二气体注入机构分隔成相互独立的多个子区域以利于对气流进行精细调节和匹配，从而实现抑制或完全消除反应腔室内涡流，提高气体的利用率。

本发明授权气体注入机构的制作方法在权利要求书中公布了：1.一种气体注入机构的制作方法，所述气体注入机构用于气相反应装置，所述气体注入机构包括位于中间区域的第一气体注入机构，以及位于外围区域并且环绕所述第一气体注入机构的第二气体注入机构，其特征在于，所述气相反应装置包括至少一个隔离件，所述隔离件将所述第二气体注入机构分隔成相互独立的多个子区域，所述隔离件沿所述第二气体注入机构的周向以圆周形式分布，或者所述隔离件沿所述气体注入机构的中心至边缘的方向延伸形成在第二气体注入机构中，制作所述第二气体注入机构的方法包括下列步骤： S1：提供一具有一定厚度的主体，所述主体包括相对设置的第一侧和第二侧，所述第一侧配置为出气侧，定义一与所述主体的第一侧所在面垂直且经过所述气体注入机构出气面的几何中心的主轴线； S2：沿着使气体从所述第二气体注入机构喷出形成旋转气流的旋转方向与位于所述气相反应装置中和所述气体注入机构相对设置的承载盘在反应过程中的旋转方向一致的方向，使用具有一锥顶角的圆锥形钻头沿第一方向自所述第一侧对所述主体开凿，获得若干锥体状通道，每个所述锥体状通道的锥底位于所述第一侧，每个所述锥体状通道的锥顶位于所述第一侧与所述第二侧之间的所述主体中； S3：使用具备一直径的圆柱形钻头沿第二方向自每个所述锥顶向所述第二侧开凿，或者自所述第二侧向每个所述锥顶开凿，获得若干管状通道，所述管状通道与所述锥体状通道一一对应连通以形成若干在厚度方向上贯穿所述主体的第二气体输送通道； 其中，定义经过所述锥体状通道的底面形心O点的关于所述主轴线的切平面为所述锥体状通道的底面形心O点所在切平面，在至少部分所述第二气体输送通道中，所述第一方向使所述锥体状通道的锥轴在其底面形心O点所在切平面上的投影与所述主轴线之间具有角所述第二方向使所述管状通道的管轴在所述锥体状通道的底面形心O点所在切平面上的投影与所述主轴线之间具有角所述角和角中至少一个不为0，从而使得至少部分所述第二气体输送通道形成为旋转气流通道。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人楚赟精工科技(上海)有限公司，其通讯地址为：201210 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区张江路665号三层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。