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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第四十八研究所申请的专利一种适用于立式TEOS设备的尾气排放装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117899583B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311809164.4，技术领域涉及：B01D46/42；该发明授权一种适用于立式TEOS设备的尾气排放装置是由黄升;赵瓛;王成宇;谢辉;陈维杰设计研发完成，并于2023-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种适用于立式TEOS设备的尾气排放装置在说明书摘要公布了：本发明公开一种适用于立式TEOS设备的尾气排放装置，包括：真空管道、干泵、三通管和冷阱过滤器，所述三通管的第一端口用于连接立式TEOS设备工艺腔体的排气口，三通管的第二端口用于连接冷阱过滤器的输入端，所述三通管的第三端口设置可拆卸的盲板，以用于检修或清洁管道；所述冷阱过滤器的输出端通过真空管道连接至干泵，在干泵的驱动下，立式TEOS设备中的工艺尾气经三通管流入冷阱过滤器中进行过滤，过滤后的气体经真空管道流入干泵，最终由干泵排出。本发明具有结构紧凑、密封性好且颗粒过滤性强等优点，保证了晶圆片上颗粒少，从而提高了晶圆片加工质量。

本发明授权一种适用于立式TEOS设备的尾气排放装置在权利要求书中公布了：1.一种适用于立式TEOS设备的尾气排放装置，其特征在于，包括：真空管道、干泵2、三通管8和冷阱过滤器11，所述三通管8的第一端口用于连接立式TEOS设备工艺腔体的排气口，三通管8的第二端口用于连接冷阱过滤器11的输入端，所述三通管8和冷阱过滤器11之间设有过渡管道9，所述三通管8的第三端口设置可拆卸的盲板，以用于检修或清洁管道；所述冷阱过滤器11的输出端通过真空管道连接至干泵2，在干泵2的驱动下，立式TEOS设备中的工艺尾气经三通管8流入冷阱过滤器11中进行过滤，过滤后的气体经真空管道流入干泵2，最终由干泵2排出； 所述过渡管道9侧部还设有排气管道3，所述排气管道3用于调节尾气排放装置内的气压； 所述排气管道3的输出端并联设置两个支路，两个支路上分别设有第一控制阀4和第二控制阀5，以用于控制支路的通断； 所述真空管道包括真空主管道1和真空辅管道6，真空主管道1的输入端与冷阱过滤器11的输出口连接，真空主管道1的输出端与干泵2的输入端连接；所述真空辅管道6的输入端与冷阱过滤器11的输出口连接，真空辅管道6的输出端与真空主管道1连接，所述真空辅管道用于预抽真空； 所述真空主管道1的输入端与冷阱过滤器11的输出口之间设有第四控制阀12，当进行预抽真空时，第四控制阀12处于关闭状态；所述真空辅管道6上设有第三控制阀7，当进行预抽真空时，第三控制阀7处于开启状态；所述第三控制阀7与第四控制阀12的运行状态相反。

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