应用材料公司C·波拉德获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利化学机械抛光中的绝缘流体线路获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117157170B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202280026870.9，技术领域涉及：B24B37/04；该发明授权化学机械抛光中的绝缘流体线路是由C·波拉德;H·桑达拉拉贾恩;P·D·巴特菲尔德;张寿松;吴昊晟;C·李;B·C·加嘎纳坦设计研发完成，并于2022-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本化学机械抛光中的绝缘流体线路在说明书摘要公布了：一种抛光组件包括化学机械抛光系统、流体源、以及将流体从流体源承载至化学机械抛光系统中的流体传输导管。化学机械抛光系统包括：用于支撑抛光垫的平台，用于支撑基板并使基板与抛光垫接触的承载头，以及用于导致平台与承载头之间的相对运动的电机。流体传输导管包括：电气绝缘管，从管的第一端至管的第二端围绕管的外部直径缠绕的导电缠绕件，以及附接至导电缠绕件第一端的导电线。导电缠绕件被配置成传导静电放电，并且导电线被配置成使静电放电从导电缠绕件传导至接地源。
本发明授权化学机械抛光中的绝缘流体线路在权利要求书中公布了：1.一种化学机械抛光组件，包括： 化学机械抛光系统，包括用于支撑抛光垫的平台、用于支撑基板并使所述基板与所述抛光垫接触的承载头、以及用于导致平台与所述承载头之间的相对运动的电机； 流体源；以及 流体传输导管，所述流体传输导管用于将流体从所述流体源承载至所述化学机械抛光系统中，所述流体传输导管包括 电气绝缘管； 导电缠绕件，所述导电缠绕件从所述管的第一端至所述管的第二端围绕所述管的外部直径缠绕，所述导电缠绕件被配置成使静电放电流动； 导电线，所述导电线附接至所述导电缠绕件第一端，所述导电线被配置成使所述静电放电从所述导电缠绕件流动至接地源； 热收缩管，所述热收缩管环绕所述电气绝缘管和所述导电缠绕件；以及 绝缘层，所述绝缘层环绕所述电气绝缘管、所述导电缠绕件和所述热收缩管。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人应用材料公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励