江苏科瑞恩自动化科技有限公司段徽庆获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏科瑞恩自动化科技有限公司申请的专利一种晶圆环取料手获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114709165B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210339693.1,技术领域涉及:H10P72/76;该发明授权一种晶圆环取料手是由段徽庆;韩鹏;周永斌;吴振龙设计研发完成,并于2022-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆环取料手在说明书摘要公布了:本发明提出了一种晶圆环取料手,包括:底板,底板上设有安装部,安装部中设有容纳口;安装座,安装座可转动地设置在容纳口中;驱动机构,驱动机构安装在底板上,且驱动机构用于驱动安装座转动;夹持机构,夹持机构安装在安装座的底部并用于对晶圆环进行夹持。本方案的技术效果在于:提出了一种对晶圆边侧的晶圆环进行夹持的技术方案,从而实现了对晶圆的取放,同时通过设置驱动机构来带动安装座转动,从而实现了对晶圆的位置调节。
本发明授权一种晶圆环取料手在权利要求书中公布了:1.一种晶圆环取料手,其特征在于,包括: 底板11,所述底板11上设有安装部12,所述安装部12中设有容纳口13; 安装座14,所述安装座14可转动地设置在所述容纳口13中; 驱动机构15,所述驱动机构15安装在所述底板11上,且所述驱动机构15用于驱动所述安装座14转动; 夹持机构16,所述夹持机构16安装在所述安装座14的底部并用于对晶圆环21进行夹持; 所述安装座14的上表面和下表面之间贯通设置有安装槽20,且所述安装座14的下表面设有用于对晶圆环21进行卡合的卡合槽22,所述卡合槽22和所述安装槽20贯通,所述夹持机构16包括夹持件,所述夹持件的一端可转动地设置在所述安装槽20中,所述夹持件的另一端用于对所述晶圆环21进行夹持; 所述夹持件的数量为多个,多个所述夹持件围绕所述安装座14的轴线进行均匀的圆周阵列分布,所述安装槽20的数量和所述夹持件的数量相同,且所述夹持件和所述安装槽20之间一一对应设置; 所述夹持机构16还包括安装块32,所述安装块32用于安装所述夹持件; 所述夹持件包括夹爪23、轴销24和扭簧25,所述夹爪23远离卡合槽的一端通过所述轴销24可转动地设置在所述安装块32上,所述夹爪23和所述安装块32之间设有扭簧25; 工作时,在外部驱动装置的作用下,所述底板11上的安装座14位于晶圆环21上方的一定高度,外部驱动装置带动该取料手继续下降至所述晶圆环21上方适宜高度,使得所述晶圆环21落入卡合槽22中;并且在下降过程中,推挤机构动作,其输出端下压推动多个夹爪23,使得多个所述夹爪23均背向卡合槽22偏转运动;随后,推挤机构向上复位,多个所述夹爪23在所述扭簧25的作用下,随之弹性复位,即均朝向所述卡合槽22运动,将所述晶圆环21夹持固定于所述卡合槽22中。
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