卡尔蔡司SMT有限责任公司B.J.莫德斯特获国家专利权
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龙图腾网获悉卡尔蔡司SMT有限责任公司申请的专利光阑、光学系统以及光刻装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114080568B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080048295.3，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权光阑、光学系统以及光刻装置是由B.J.莫德斯特;T.格鲁纳;D.戈尔德;U.勒林;R.茨韦林;S.克萨尔特设计研发完成，并于2020-06-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本光阑、光学系统以及光刻装置在说明书摘要公布了：用于光刻装置100A,100B的光阑300尤其是数值孔径光阑、遮挡光阑或虚光光阑包含透光孔径302以及至少一个光阑元件306,308，孔径302设置于至少一个光阑元件306,308之中或之上，其中光阑元件306,308在孔径302的外部是不透明的且为流体可渗透的。
本发明授权光阑、光学系统以及光刻装置在权利要求书中公布了：1.一种用于光刻装置100A,100B的光阑300，包含： 透光孔径302，以及 至少一个光阑元件306,308，在其中或在其上设置该孔径302，其中该光阑元件306,308在该孔径302的外部是不透明的且为流体可渗透的， 其中该至少一个光阑元件306,308具有多个开口312,314,316,318，该多个开口配置使得该至少一个光阑元件306,308是不透明的且为流体可渗透的。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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