上海新傲芯翼科技有限公司汪子文获国家专利权
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龙图腾网获悉上海新傲芯翼科技有限公司申请的专利热处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224165075U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520822405.7，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型热处理装置是由汪子文;陆琼;李名浩;魏星;李炜设计研发完成，并于2025-04-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本热处理装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种热处理装置，包括：恒温室、纯化器和高温退火炉；所述恒温室内被配置为具有稳定的目标温度；所述高温退火炉设置于所述恒温室内，被配置为对目标晶圆进行热退火处理；所述纯化器设置于所述恒温室内，被配置为纯化用于高温退火的气体氛，并将纯化后的所述气体氛通入所述高温退火炉内，所述纯化器与所述高温退火炉之间的距离小于设定距离。通过恒温室控制纯化器的工作温度，可以提高纯化器的纯化效果，以及通过控制纯化器与高温退火炉之间的间距，可以使得避免安装距离较远可能带来的温差、气体纯度下降等问题出现，从而可以有效去除或控制退火过程中的水氧含量，避免影响晶圆的质量和性能。
本实用新型热处理装置在权利要求书中公布了：1.一种热处理装置，用于非接触式平坦化，其特征在于，所述热处理装置包括：恒温室、纯化器和高温退火炉； 所述恒温室内被配置为具有稳定的目标温度； 所述高温退火炉设置于所述恒温室内，被配置为对目标晶圆进行热退火处理； 所述纯化器设置于所述恒温室内，被配置为纯化用于高温退火的气体氛，并将纯化后的所述气体氛通入所述高温退火炉内，所述纯化器与所述高温退火炉之间的距离小于设定距离。
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