张家港奇点光电科技有限公司谭军获国家专利权
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龙图腾网获悉张家港奇点光电科技有限公司申请的专利一种光刻机用复眼结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224163890U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521295352.4，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种光刻机用复眼结构是由谭军;刘世奇;李红敏设计研发完成，并于2025-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻机用复眼结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种光刻机用复眼结构，涉及光刻机技术领域，该光刻机用复眼结构，包括安装转接板，所述安装转接板的一侧设置有第一聚焦镜，所述第一聚焦镜的一侧设置有第二聚焦镜，所述第二聚焦镜的一侧设置有第三聚焦镜，所述第二聚焦镜的外部设置有第一外护组件，所述第三聚焦镜的外部设置有第二外护组件，所述第一外护组件的上端和低端均设置有复眼机械件，且第一外护组件沿着移动，调节与第二外护组件之间的间距，所述第一外护组件和第二外护组件均包括外护套、第一侧板和第二侧板，本方案解决了现有光刻机用复眼结构不便进行光源角度调节和光学件间距调节，在四寸光学系统中光学效率低下的问题。
本实用新型一种光刻机用复眼结构在权利要求书中公布了：1.一种光刻机用复眼结构，包括安装转接板1，其特征在于：所述安装转接板1的一侧设置有第一聚焦镜3，所述第一聚焦镜3的一侧设置有第二聚焦镜4，所述第二聚焦镜4的一侧设置有第三聚焦镜5，所述第二聚焦镜4的外部设置有第一外护组件7，所述第三聚焦镜5的外部设置有第二外护组件8，所述第一外护组件7的上端和低端均设置有复眼机械件2，且第一外护组件7沿着移动，调节与第二外护组件8之间的间距。
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