深圳奉天实业有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳奉天实业有限公司申请的专利一种基于FIB-SEM双束系统的高精度三维断层扫描装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224163778U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520513202.X，技术领域涉及：G01R31/302；该实用新型一种基于FIB-SEM双束系统的高精度三维断层扫描装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于FIB-SEM双束系统的高精度三维断层扫描装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种基于FIB‑SEM双束系统的高精度三维断层扫描装置，包括机箱和扫描电镜，机箱的顶部固定安装有行走机构，行走机构至少用于扫描电镜的回转运动；行走机构的上方安装有回转电机，回转电机至少用于扫描电镜的旋转运动；回转电机的上方安装有伸缩臂组件，伸缩臂组件至少用于扫描电镜水平位置的调节；伸缩臂组件的一端固定安装有升降机构。本实用新型采用的角度调节机构，能够对扫描电镜的俯仰角度进行调整，利用升降机构实现对扫描电镜高度的调整，通过伸缩臂组件对扫描电镜的水平位置进行调整，回转电机能够带动扫描电镜旋转，行走机构能够使得扫描电镜围绕储物台进行回转，实现对储物台上的电路板的全方位扫描。
本实用新型一种基于FIB-SEM双束系统的高精度三维断层扫描装置在权利要求书中公布了：1.一种基于FIB-SEM双束系统的高精度三维断层扫描装置，包括机箱1和扫描电镜73，其特征在于，所述机箱1的顶部固定安装有行走机构3，所述行走机构3至少用于扫描电镜73的回转运动； 所述行走机构3的上方安装有回转电机4，所述回转电机4至少用于扫描电镜73的旋转运动； 所述回转电机4的上方安装有伸缩臂组件5，所述伸缩臂组件5至少用于扫描电镜73水平位置的调节； 所述伸缩臂组件5的一端固定安装有升降机构6，所述升降机构6至少用于扫描电镜73上下位置的调节； 所述升降机构6的一侧设置有角度调节机构7，所述角度调节机构7至少用于扫描电镜73的俯仰角度的调节； 所述机箱1的顶部固定安装有储物台8，所述储物台8顶部的外壁上设置有若干个夹具9，所述储物台8上方安装有被夹具9固定的电路板10。
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