上海良薇机电工程有限公司何强军获国家专利权
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龙图腾网获悉上海良薇机电工程有限公司申请的专利一种传感器测试系统及半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224163295U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521172313.5，技术领域涉及：G01L27/00；该实用新型一种传感器测试系统及半导体工艺设备是由何强军;纪雪峰设计研发完成，并于2025-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种传感器测试系统及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种传感器测试系统及半导体工艺设备，传感器测试系统包括低压测试单元、高压测试单元、负压测试单元和温度测试单元。其优点在于，通过设置低压测试单元和高压测试单元，可测试低压压力传感器、超高压的压力传感器，以对传感器的压力性能参数进行测试，实现传感器测试品种的多样性；通过将负压测试单元与低压测试单元、高压测试单元连通，从而可为压力传感器的测试提供负压条件，提升测试的多样性；通过设置温度测试单元，温度测试单元可让恒温介质通过待测试的传感器，以模拟实际使用情况，从而实现对传感器的温度性能参数进行测试。
本实用新型一种传感器测试系统及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种传感器测试系统，其特征在于，包括： 低压测试单元，所述低压测试单元与第一低压气源，用于对传感器样品进行低压测试； 高压测试单元，所述高压测试单元与高压气源，用于对传感器样品进行高压测试； 负压测试单元，所述负压测试单元分别与所述低压测试单元、所述高压测试单元、废气处理设备、动力气源连通，用于对传感器样品进行低压测试； 温度测试单元，所述温度测试单元分别与第二低压气源、废气处理设备连通，用于对传感器样品进行温度测试。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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