三海智能装备(广州)有限公司李军明获国家专利权
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龙图腾网获悉三海智能装备(广州)有限公司申请的专利一种晶圆老化测试夹具的温度检测安装结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224163262U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521228969.4，技术领域涉及：G01K1/14；该实用新型一种晶圆老化测试夹具的温度检测安装结构是由李军明;吴码设计研发完成，并于2025-06-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆老化测试夹具的温度检测安装结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆老化测试夹具的温度检测安装结构，包括上针卡座、下卡盘和锁紧装置；所述晶圆承载盘用于承载晶圆并用于向晶圆传递热量；所述晶圆承载盘上安装有分别用于检测温度的第一温度检测装置、第二温度检测装置、第三温度检测装置、第四温度检测装置；所述晶圆承载盘远离下卡盘的一侧设置有嵌置槽，所述嵌置槽用于安装所述第一温度检测装置、第二温度检测装置、第三温度检测装置和第四温度检测装置。本实用新型可全面充分地检测晶圆的加热温度。
本实用新型一种晶圆老化测试夹具的温度检测安装结构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆老化测试夹具的温度检测安装结构，其特征在于：包括上针卡座10、下卡盘20和锁紧装置30；所述下卡盘20通过锁紧装置30与上针卡座10固定在一起，且上针卡座10与下卡盘20围成用于通入保护气体的容置通气腔50；所述容置通气腔内设置有晶圆承载盘；所述晶圆承载盘用于承载晶圆并用于向晶圆传递热量；所述晶圆承载盘上安装有分别用于检测温度的第一温度检测装置81、第二温度检测装置82、第三温度检测装置83和第四温度检测装置84；所述晶圆承载盘远离下卡盘的一侧设置有嵌置槽，所述嵌置槽用于安装所述第一温度检测装置81、第二温度检测装置82、第三温度检测装置83和第四温度检测装置84。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人三海智能装备(广州)有限公司，其通讯地址为：511370 广东省广州市增城区朱村街科德大道399号6层601-605室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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