吉林华微电子股份有限公司赵炳博获国家专利权
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龙图腾网获悉吉林华微电子股份有限公司申请的专利一种立式炉压力恒定控制装置及立式炉获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224162965U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521056396.1，技术领域涉及：F27B1/28；该实用新型一种立式炉压力恒定控制装置及立式炉是由赵炳博;刘小星;何兆长设计研发完成，并于2025-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种立式炉压力恒定控制装置及立式炉在说明书摘要公布了：本申请提供一种立式炉压力恒定控制装置及立式炉，涉及半导体制造领域。该立式炉压力恒定控制装置包括进气管道和调节组件，进气管道用于与立式炉反应腔室连接，调节组件与进气管道连接，用于控制通过进气管到进入立式炉反应腔室的气体量，以使立式炉反应腔室的压力恒定。本申请提供的立式炉压力恒定控制装置可以更稳定的保持立式炉反应腔室压力恒定，确保TEOS生产工艺正常进行，并且克服使用碟阀存在的蝶阀卡死、后期维护成本高及能源浪费和火灾隐患的问题。
本实用新型一种立式炉压力恒定控制装置及立式炉在权利要求书中公布了：1.一种立式炉压力恒定控制装置，用于立式炉反应腔室200的压力恒定控制，其特征在于，所述立式炉压力恒定控制装置100包括进气管道110和调节组件120，所述进气管道110用于与所述立式炉反应腔室200连接，所述调节组件120与所述进气管道110连接，用于控制通过所述进气管到进入所述立式炉反应腔室200的气体量，以使所述立式炉反应腔室200的压力恒定。
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