宸微设备科技(苏州)有限公司尹艳超获国家专利权
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龙图腾网获悉宸微设备科技(苏州)有限公司申请的专利集成式管路供应平台以及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224162441U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521171408.5，技术领域涉及：F17D1/04；该实用新型集成式管路供应平台以及半导体设备是由尹艳超;潘兴强设计研发完成，并于2025-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本集成式管路供应平台以及半导体设备在说明书摘要公布了：一种集成式管路供应平台以及半导体设备，集成式管路供应平台通过在同一平台主体上集成设置辅助管路和工艺气体管路，并使它们在竖直方向上相互间隔的布局，能够将辅助管路和工艺气体管路有序的整合在平台主体上，减少了各个管路之间的物理干涉，有利于实现集成式管路供应平台的有序化和紧凑化布局；此外，对接结构中的厂务对接窗口为辅助管路和工艺气体管路与外部建立连接通道，简化集成式管路供应平台与厂务设施的对接；而腔室对接窗口为集成式管路供应平台与多个工艺腔室之间提供管路连接界面，实现了平台与多个工艺腔室之间的快速、准确对接，提高半导体设备中管路的安装效率和管路连接的可靠性，增强半导体设备的集成度和连接效率。
本实用新型集成式管路供应平台以及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种集成式管路供应平台，用于半导体设备，其特征在于，包括： 平台主体； 辅助管路，设置在所述平台主体上； 工艺气体管路，设置在所述平台主体上，且与所述辅助管路在竖直方向上相间隔； 对接结构，设置在所述平台主体上，所述对接结构包括： 厂务对接窗口，用于将所述辅助管路和工艺气体管路与外部设施对接； 腔室对接窗口，用于与工艺腔室的对应管路接口对接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人宸微设备科技(苏州)有限公司，其通讯地址为：215299 江苏省苏州市吴江区江陵街道芦荡路228号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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