深圳市智力昌智能设备有限公司陆立昌获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市智力昌智能设备有限公司申请的专利一种半导体材料用干冰清洗机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120243552B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510429910.X,技术领域涉及:B08B7/00;该发明授权一种半导体材料用干冰清洗机是由陆立昌;缪影华;邓毕静;李万杨;陈浩杰;邓武权设计研发完成,并于2025-04-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体材料用干冰清洗机在说明书摘要公布了:本发明公开了一种半导体材料用干冰清洗机,涉及干冰清洗技术领域,包括支撑结构,包括支撑杆;动力结构,包括固定于所述支撑杆表面的安装底板和定位板,固定于所述定位板表面的伺服电机,以及转动于所述伺服电机顶部的转轴;装夹结构,包括固定于所述转轴顶部的支撑底座,开设于所述支撑底座表面的定位槽,固定于所述定位槽侧边的电动推杆,固定于所述电动推杆顶端的装夹组件,固定于所述装夹组件上的感应组件,固定于所述感应组件侧边的悬浮组件。本发明避免了装夹遮盖面积过大的问题,减少了干冰喷射分布不均的可能性,促进了干冰喷射的均匀分布,提升了清洗效果,有效避免了局部溶解不均和水汽附着的问题。
本发明授权一种半导体材料用干冰清洗机在权利要求书中公布了:1.一种半导体材料用干冰清洗机,其特征在于:包括, 支撑结构100,包括支撑杆101; 动力结构200,包括固定于所述支撑杆101表面的安装底板201和定位板202,固定于所述定位板202表面的伺服电机203,以及转动于所述伺服电机203顶部的转轴204; 装夹结构300,包括固定于所述转轴204顶部的支撑底座301,开设于所述支撑底座301表面的定位槽302,固定于所述定位槽302侧边的电动推杆304,固定于所述电动推杆304顶端的装夹组件305,固定于所述装夹组件305上的感应组件306,固定于所述感应组件306侧边的悬浮组件308;以及, 辅助结构400,包括固定于所述装夹组件305上的推压杆401,滑动于所述推压杆401表面的输气筒402,以及固定于所述推压杆401顶部的辅助组件403; 所述支撑底座301的内部固定有防护壳307; 所述悬浮组件308包括,固定于所述防护壳307内的气囊一308a,固定于所述防护壳307表面的防护筒308b,开设于所述防护筒308b表面的凸形槽308c,滑动连接于所述凸形槽308c表面的凸形块308d,以及固定连接于所述凸形块308d上的按压柱308f,所述按压柱308f滑动连接于所述防护筒308b的内部; 所述按压柱308f的一端固定有按压板308e,所述按压柱308f的另一端固定有顶块308h,所述按压柱308f表面设置有弹簧三308g; 所述气囊一308a表面固定有导流管309a,所述导流管309a的内部固定有喉管309b,所述导流管309a的一端固定有喷气头309c。
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