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龙图腾网获悉华为技术有限公司申请的专利用于减小散焦距离的静电透镜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119013754B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202280094633.6，技术领域涉及：H01J37/153；该发明授权用于减小散焦距离的静电透镜是由黎琼奔;李小波;张文;贾智慧;桂文静设计研发完成，并于2022-04-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于减小散焦距离的静电透镜在说明书摘要公布了：本申请实施例提供一种用于减小散焦距离的静电透镜、具有该静电透镜的多分束带电粒子系统，涉及电子光学技术领域。该静电透镜包括可通过第一带电粒子束的第一透镜和可通过第二带电粒子束的第二透镜，第一透镜和第二透镜均包括相堆叠的且绝缘的第一电极层和第二电极层，另外，第一透镜的第一电极层相对第二透镜的第一电极层朝该静电透镜的外部凸出，这样，若该静电透镜被应用在多分束带电粒子系统中，例如，被应用在电子束曝光机中，通过设置的凸出结构，可以减小第一带电粒子束和第二带电粒子束的散焦defocus距离，进而可以将多分束带电粒子系统的聚焦面为平面，以提高该电子束曝光机的刻绘效率。

本发明授权用于减小散焦距离的静电透镜在权利要求书中公布了：1.一种静电透镜，其特征在于，包括： 第一电极层； 第二电极层，所述第一电极层和所述第二电极层堆叠，并且所述第一电极层和所述第二电极层之间绝缘； 所述第一电极层包括：第一电极层第一部分和第一电极层第二部分； 所述第二电极层包括：第二电极层第一部分和第二电极层第二部分； 所述第一电极层第一部分和所述第二电极层第一部分沿堆叠方向排布，所述第一电极层第二部分和所述第二电极层第二部分沿所述堆叠方向排布，所述第二电极层第一部分相对所述第二电极层第二部分朝靠近所述第一电极层的方向凸出； 所述第一电极层第一部分相对所述第一电极层第二部分朝远离所述第二电极层的方向凸出； 所述第一电极层第一部分内开设有沿所述堆叠方向贯通所述第一电极层的第一孔，所述第一电极层第二部分内开设有沿所述堆叠方向贯通所述第一电极层的第二孔； 所述第二电极层第一部分内开设有与所述第一孔相连通的第三孔，所述第二电极层第二部分内开设有与所述第二孔相连通的第四孔。

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