南京茂莱光学科技股份有限公司苏志德获国家专利权
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龙图腾网获悉南京茂莱光学科技股份有限公司申请的专利一种超长曲率半径凸球面的面形测量系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116412775B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310235086.5,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权一种超长曲率半径凸球面的面形测量系统是由苏志德;宋治平;范一设计研发完成,并于2023-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超长曲率半径凸球面的面形测量系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种超长曲率半径凸球面的面形测量系统,该面形测量系统包括位于同一光轴上的干涉仪、球面标准镜、像差补偿透镜和被测凸球面镜,所述像差补偿透镜位于被测凸球面一侧为凹面;干涉仪发出的光束,一部分被球面标准镜反射回干涉仪中,形成参考光束,另一部分透过球面标准镜、像差补偿透镜,照射在被测凸球面上,经被测凸球面反射两次,最终经像差补偿透镜、球面标准镜,回到干涉仪,形成测试光束;参考光束与测试光束发生干涉,形成干涉条纹,通过对干涉条纹做分析,获得被测面的面形误差。本发明解决了现有技术中检测超长曲率半径凸球面镜面形,需要检测设备尺寸大、成本高、难以实现的问题。
本发明授权一种超长曲率半径凸球面的面形测量系统在权利要求书中公布了:1.一种超长曲率半径凸球面的面形测量系统,其特征在于,该面形测量系统适用于口径范围为50~500mm、曲率半径不小于10m的被测凸球面,包括位于同一光轴上的干涉仪、球面标准镜、像差补偿透镜和被测凸球面镜,所述像差补偿透镜位于被测凸球面一侧为凹面;像差补偿透镜的口径大于被测凸球面的口径,为弯月型补偿透镜;弯月型补偿透镜的凹面镀有分光膜,分光膜反射率和透射率的大小,满足以下关系:P2=1-P1×Tc2×Rc×R02, 其中,P2为测试光束光强与干涉仪发出全光束光强比,P1为参考光束光强与干涉仪发出全光束光强比,Tc、Rc分别为弯月补偿镜凹面的透过率和反射率,R0为被测凸球面的反射率,P2与1-P1产生有效干涉,形成对比度良好的干涉条纹; 干涉仪发出的光束,一部分被球面标准镜反射回干涉仪中,形成参考光束,另一部分透过球面标准镜、像差补偿透镜,照射在被测凸球面上,像差补偿透镜的凹面镀有分光膜,另一部分光束在像差补偿透镜与被测凸球面之间,经被测凸球面反射两次,最终经像差补偿透镜、球面标准镜,回到干涉仪,形成测试光束; 参考光束与测试光束发生干涉,在干涉仪内部的CCD相机上形成干涉条纹,通过对干涉条纹做分析,获得被测面的面形误差。
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