圆益IPS股份有限公司崔光夏获国家专利权
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龙图腾网获悉圆益IPS股份有限公司申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116190304B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211396520.X，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权基板处理装置是由崔光夏;咸兑昊;李铁友设计研发完成，并于2022-11-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明涉及基板处理装置，更详细地说，涉及在形成多个处理空间的工艺腔室内对于多个基板执行基板处理的基板处理装置。本发明公开了一种基板处理装置，包括：工艺腔室，形成相互区分的N个处理空间以处理基板；N个气体喷射部，向所述处理空间喷射气体；N个基板支撑部，支撑所述基板；传送支撑部，支撑作为传送对象的所述基板，以传送所述基板；旋转支撑部，分别放置所述基板，以使所述基板以经过所述基板的垂直方向第二旋转轴为中心进行旋转；旋转动力模块，对于所述传送支撑部及所述旋转支撑部分别提供旋转动力。
本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，包括： 工艺腔室100，形成相互区分的N个处理空间S，以处理基板1，其中，N为2以上的自然数； N个气体喷射部200，分别对应于N个所述处理空间S设置在所述工艺腔室100上侧，并且向所述处理空间S喷射气体； N个基板支撑部300，与所述气体喷射部200相向，并且支撑所述基板1； 传送支撑部400，以可旋转的方式设置在所述工艺腔室100，并且支撑作为传送对象的所述基板1，并从所述N个基板支撑部300中的一个基板支撑部300侧向另一个基板支撑部300侧传送所述基板1； 旋转支撑部500，以独立于所述传送支撑部400的方式固定设置在相邻的所述基板支撑部300之间的所述基板1传送路径上，并支撑通过所述传送支撑部400传送的所述基板1，且使所述基板1以经过所述基板1的垂直方向第二旋转轴622为中心进行旋转； 旋转动力模块600，配置在所述工艺腔室100下侧，并且对于所述传送支撑部400及所述旋转支撑部500分别提供旋转动力。
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