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龙图腾网获悉广东工业大学申请的专利一种高温度均匀度的模块化加热台和温度控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116169068B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310315499.4，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种高温度均匀度的模块化加热台和温度控制方法是由林志杭;汤晖;李晟熙设计研发完成，并于2023-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高温度均匀度的模块化加热台和温度控制方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种高温度均匀度的模块化加热台和温度控制方法。一种高温度均匀度的模块化加热台，包括加热台、第一油泵、第二油泵和控制器；所述加热台包括加热模块阵列、加热盒体以及盖设于所述加热盒体的盖板，所述盖板的上表面用于放置目标衬底，所述加热盒体设置有油浴腔，所述油浴腔用于填充油浴介质，所述油浴腔内设有所述加热模块阵列。所述高温度均匀度的模块化加热台，能够实现温度的高均匀分布，降低温度梯度对对位精度的影响，提高芯片转移的精度和良率，冷却效果和散热效果好，温度控制精确，解决了现有温度梯度产生的空气湍流以及基板热翘曲对设备转移精度造成影响的问题。

本发明授权一种高温度均匀度的模块化加热台和温度控制方法在权利要求书中公布了：1.一种高温度均匀度的模块化加热台，其特征在于，包括加热台、第一油泵、第二油泵和控制器； 所述加热台包括加热模块阵列、加热盒体以及盖设于所述加热盒体的盖板，所述盖板的上表面用于放置目标衬底，所述加热盒体设置有油浴腔，所述油浴腔用于填充油浴介质，所述油浴腔内设有所述加热模块阵列，所述加热模块阵列浸泡于所述油浴介质中，所述加热模块阵列由多个加热单元块拼接而成，所述加热单元块的材质为多孔材料，所述加热单元块内开设有加热器放置腔体和温度传感器放置腔体，所述加热器放置腔体内设置有加热器，所述温度传感器放置腔体内设置有第一温度传感器，所述加热模块阵列用于对所述加热台进行加热，所述盖板的表面设有第二温度传感器； 所述第一油泵的输入端与冷油源相连通，所述第一油泵的输出端与所述加热盒体的冷油输入端相连通，所述第一油泵用于向所述油浴腔输入冷却的油浴介质，所述第二油泵的输入端与所述加热盒体的热油输出端相连通，所述第二油泵用于将加热后的油浴介质排出所述油浴腔； 所述第一温度传感器的信号输出端和所述第二温度传感器的信号输出端分别与所述控制器的信号输入端通信连接，所述加热器、所述第一油泵和所述第二油泵分别与所述控制器通信连接。

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