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龙图腾网获悉中科晶源微电子技术(北京)有限公司申请的专利电子枪测试平台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116086369B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110583645.2，技术领域涉及：G01B21/00；该发明授权电子枪测试平台是由王鑫;孟庆浪;孙伟强;蒋俊海设计研发完成，并于2021-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本电子枪测试平台在说明书摘要公布了：本申请涉及一种电子枪测试平台，包括测试腔体；测试腔体内设有平行移载模组和移动载具模组；移动载具模组与测试腔体的内壁固定，移动载具模组的顶部适用于放置硅片或者硅片载盒，平行移载模组设置在移动载具模组的旁侧；平行移载模组包括驱动装置、固定座、移动架和夹持件；其中，固定座固定安装在移动载具模组旁侧，固定座与测试腔体的内壁固定；驱动装置固定在固定座上，驱动装置的输出端与移动架的一侧固定连接，移动架的另一侧与夹持件转动连接；夹持件适用于夹持硅片载盒，驱动装置驱动夹持件在移动载具模组的顶部移动。其有效的解决了取放硅片带来的接驳间隙存在的误差，以及运动模组和真空馈入装置的重复定位误差。

本发明授权电子枪测试平台在权利要求书中公布了：1.一种电子枪测试平台，其特征在于，包括测试腔体； 所述测试腔体内设有平行移载模组和移动载具模组； 所述移动载具模组与所述测试腔体的内壁固定，所述移动载具模组的顶部适用于放置硅片或者硅片载盒，所述平行移载模组设置在所述移动载具模组的旁侧； 所述平行移载模组包括驱动装置、固定座、移动架和夹持件； 其中，所述固定座固定安装在所述移动载具模组旁侧，所述固定座与所述测试腔体的内壁固定； 所述驱动装置固定在所述固定座上，所述驱动装置的输出端与所述移动架的一侧固定连接，所述移动架的另一侧与所述夹持件转动连接； 所述夹持件适用于夹持所述硅片载盒，所述驱动装置驱动所述夹持件在所述移动载具模组的顶部移动； 所述电子枪测试平台还包括过渡隔离腔体，所述过渡隔离腔体与所述测试腔体连通设置； 所述过渡隔离腔体的内部安装有运输模组，所述运输模组的顶部适用于放置硅片或者硅片载盒； 所述过渡隔离腔体和所述测试腔体连通处设有隔离门，所述隔离门隔离所述过渡隔离腔体和所述测试腔体； 所述隔离门上设置有升降组件，用于控制所述隔离门的打开或者关闭； 所述过渡隔离腔体背离所述测试腔体的一侧设有取放口，所述取放口处可拆卸安装有端盖，所述端盖盖设所述取放口设置。

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