宁夏索特科新型器件有限公司张虹获国家专利权
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龙图腾网获悉宁夏索特科新型器件有限公司申请的专利一种打印机喷头压电陶瓷驱动器导电电极制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115295716B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210868318.6,技术领域涉及:H10N30/06;该发明授权一种打印机喷头压电陶瓷驱动器导电电极制备方法是由张虹;雷雅雯;雷顺京;赵志娟;刘永红设计研发完成,并于2022-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种打印机喷头压电陶瓷驱动器导电电极制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种喷墨打印机喷头压电陶瓷驱动器导电电极制备方法,涉及电极制备技术领域,具体包括如下步骤:驱动器工件清洗;驱动器工件预热;在驱动器工件上贴感光干膜;对贴好感光干膜的工件加热烘烤前烘;前烘后的自然冷却;工件感光膜曝光;工件感光膜曝光后的加热烘烤后烘;后烘后的自然冷却;工件感光膜的显影;工件感光膜显影后的加热烘烤坚膜;工件真空镀金属导电膜;工件上感光膜剥离;检查。本发明的制备方法采用感光干膜技术实现了打印机喷头压电陶瓷驱动器导电电极的制备,可以推广到其他不规则或非平面工件上精细线条加工制作,效果更佳,适用性更强。
本发明授权一种打印机喷头压电陶瓷驱动器导电电极制备方法在权利要求书中公布了:1.一种喷墨打印机喷头压电陶瓷驱动器导电电极制备方法,其特征在于,基于感光干膜技术,包括如下步骤: S1:驱动器工件清洗,对待加工的驱动器工件进行清洗处理; S2:驱动器工件预热,加热热板,将清洗并烘干好的驱动器工件放到热板上预热; S3:贴膜处理,揭掉干膜的PE膜层,胶膜朝下粘到预热好的工件上,用电熨斗对干膜按压加热使得干膜与工件贴敷紧密;贴敷紧密后让其自然冷却,然后将PET膜揭掉,此时光刻胶膜已转移至驱动器工件上,将驱动器工件边缘多余的胶膜去除; S4:前烘处理,将贴好感光胶膜的驱动器工件放到热板上烘烤,烘烤后自然冷却; S5:曝光处理,在显微镜下将光刻版上的电极图形与驱动器工件需要制作电极区域对准,并在真空装置内压紧,然后放到曝光机下曝光; S6:后烘处理,将曝光后的驱动器工件放到热板上烘烤,烘烤后自然冷却; S7:显影处理,将后烘完工的驱动器工件用显影溶液进行显影,显影后的驱动器工件冲洗净、吹干; S8:烘干坚膜处理,将检查合格的驱动器工件放到预热好的热板上烘烤固化胶膜; S9:镀膜处理,将驱动器工件装载到真空镀膜机中镀导电金属膜; S10:剥离处理,将驱动器工件放入剥离溶液中浸泡,然后用超声波清洗机剥离感光胶膜。
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