鹰港科技有限公司迪麦西·津巴获国家专利权
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龙图腾网获悉鹰港科技有限公司申请的专利等离子体系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114930488B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080089882.7，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权等离子体系统是由迪麦西·津巴;肯尼斯·米勒设计研发完成，并于2020-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子体系统在说明书摘要公布了：本发明的实施例包括一种等离子体系统。所述等离子体系统包括：等离子体腔室；RF驱动器，其配置为用RF频率将突发驱动到所述等离子体腔室中；纳秒脉冲发生器，其配置为用脉冲重复频率将脉冲驱动到所述等离子体腔室中，所述脉冲重复频率小于所述RF频率；高通滤波器，其部署在所述RF驱动器与所述等离子体腔室之间；和低通滤波器，其部署在所述纳秒脉冲发生器与所述等离子体腔室之间。
本发明授权等离子体系统在权利要求书中公布了：1.一种等离子体系统，包括： 等离子体腔室； RF驱动器，其与所述等离子体腔室电耦合，所述RF驱动器用RF频率将突发驱动到所述等离子体腔室中； 纳秒脉冲发生器，所述纳秒脉冲发生器包括电源和多个开关； 变压器，所述变压器包括初级侧和次级侧，所述初级侧与所述多个开关电耦合，所述次级侧与所述等离子体腔室电耦合，所述纳秒脉冲发生器通过所述变压器将具有用脉冲重复频率的脉冲驱动到所述等离子体腔室中，所述脉冲重复频率小于所述RF频率； 能量恢复电路，所述能量恢复电路与所述变压器的所述次级侧电耦合，并且所述纳秒脉冲发生器允许电流从所述变压器的所述次级侧流向对所述电源进行充电并且允许电流流向所述等离子体腔室； 下降电容器，其部署在所述RF驱动器与所述等离子体腔室之间，所述下降电容器允许所述脉冲进入所述等离子体腔室；和 下降控制电感器，其部署在所述纳秒脉冲发生器与所述等离子体腔室之间，所述下降控制电感器允许具有小于100kHz的脉冲重复频率的脉冲进入到所述等离子体腔室中，所述下降控制电感器具有小于5pF的杂散电容值。
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