ASML荷兰有限公司E·巴德尔获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利量测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114846411B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080089819.3，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权量测方法是由E·巴德尔设计研发完成，并于2020-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本量测方法在说明书摘要公布了：一种量测方法，包括：在衬底上执行第一次曝光，以形成包括多个第一目标单位的第一图案化层，每个第一目标单位包括第一目标特征；在衬底上执行第二次曝光，以形成第二图案化层，该第二图案化层包括与相应一些第一目标单位套刻的多个第二目标单位，每个第二目标单位具有第二目标特征，其中多个第二目标单位中的一些第二目标单位具有相对于参考位置分别以不同的偏移被定位的第二目标特征：对套刻在第一目标单位上的第二目标单位进行成像；以及基于第二目标单位中的第二目标特征的边缘相对于在下面的第一目标单位的第一目标特征的边缘的位置，确定边缘放置误差。
本发明授权量测方法在权利要求书中公布了：1.一种检查工具，包括： 成像系统，所述成像系统被配置为对形成在衬底上的目标进行成像，所述目标包括形成在第一图案化层中的多个第一目标单位以及形成在第二图案化层中的多个第二目标单位，所述多个第二目标单位与相应一些第一目标单位套刻，每个第一目标单位包括第一目标特征，每个第二目标单位具有第二目标特征，其中所述多个第二目标单位中的一些第二目标单位具有相对于参考位置分别以不同的偏移被定位的所述第二目标特征；和 图像分析系统，所述图像分析系统被配置为：基于所述第二目标单位中的所述第二目标特征的边缘相对于在下面的所述第一目标单位的所述第一目标特征的边缘的位置并且基于所述目标的第一部分与所述目标的第二部分之间的对称性，确定边缘放置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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