扬州大学孙进获国家专利权
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龙图腾网获悉扬州大学申请的专利面向多规格晶圆的V字定心自适应装夹机构及其应用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114530410B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210132901.0，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权面向多规格晶圆的V字定心自适应装夹机构及其应用方法是由孙进;梁立;雷震霆;马昊天设计研发完成，并于2022-02-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本面向多规格晶圆的V字定心自适应装夹机构及其应用方法在说明书摘要公布了：本发明公开了面向多规格晶圆的V字定心自适应装夹机构及其应用方法，架板上开有两个U型槽，形成V字型分布。采用滚轮在槽内滑动的方式，可实现调节装夹机构的开合尺寸，适应多尺寸晶圆片装夹；底部滚轮采用自转的方式，带动晶圆旋转，避免晶圆和滚轮接触地方存在死角，无法彻底进行清洗干燥。本发明相较于传统的三爪定位装置，体现了其可装夹不同规格的晶圆的优点，避免了因加工不同尺寸晶圆片需要频繁更换夹具导致效率不高，同时也解决了晶圆清洗干燥不充分的问题。
本发明授权面向多规格晶圆的V字定心自适应装夹机构及其应用方法在权利要求书中公布了：1.一种面向多规格晶圆的V字定心自适应装夹机构的应用方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤1确定V字型晶圆尺寸调节机构的导轨一侧传感器的位置，用于定位滑块位置，适应多规格晶圆片的装夹；确定导轨一侧传感器的位置具体包括以下流程：根据不同规格的晶圆尺寸绘制二维坐标轴，根据底部滚轮位置固定的特点，将坐标原点设置在底部滚轮的中心处，绘制不同晶圆直径，根据连杆的长度不变性，一端沿着U型槽的方向，一端沿着丝杠方向，也就是Y轴的方向；根据绘制不同圆，根据勾股定理理论计算，最后得到Y轴负半轴的各点，为传感器安置位置； 步骤2V字型晶圆尺寸调节机构的丝杠旋转，带动滑块移动，左滚轮和右滚轮沿着U型槽内移动至相应规格晶圆处；晶圆放置在三个滚轮之间，滑块上的挡片与传感器配合，起到定位的作用，通过带轮装置带动底部滚轮转动，从而使得晶圆转动； 步骤3滚轮刷传动机构将两个滚轮刷运送至晶圆片两侧，对晶圆进行洗刷清洗； 步骤4洗刷完，热氮气通过氮气喷管的管道喷射在晶圆表面，对晶圆进行干燥。
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