江苏凯迪微技术股份有限公司江永获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏凯迪微技术股份有限公司申请的专利一种基于伯努利卡盘的主轴装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224154612U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520986282.0，技术领域涉及：H10P72/78；该实用新型一种基于伯努利卡盘的主轴装置是由江永设计研发完成，并于2025-05-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于伯努利卡盘的主轴装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及主轴装置领域的一种基于伯努利卡盘的主轴装置，包括支撑座、伯努利吸附组件和旋转驱动件，所述伯努利吸附组件包括伯努利吸盘和伯努利底座，伯努利底座通过中空的外轴安装于支撑座上，外轴的内部设置有中空的连接轴，连接轴的内部设有用于向伯努利吸盘提供气流的连接杆，旋转驱动件的底部连接有支撑架，支撑架内设置有用于过滤气流的纳米过滤器，纳米过滤器的一端通过转接头与连接杆的端部进行连接，纳米过滤器的另一端连接有进气接头，本实用新型使用纳米过滤器确保进入伯努利吸盘的气流洁净度，以及转接头的设置，避免密封圈发生老化产尘造成晶圆污染的现象，提高晶圆刻蚀的均匀一致性和刻蚀质量稳定性。
本实用新型一种基于伯努利卡盘的主轴装置在权利要求书中公布了：1.一种基于伯努利卡盘的主轴装置，包括支撑座、设置于支撑座上的伯努利吸附组件和设置于支撑座上的旋转驱动件，旋转驱动件可驱动伯努利吸附组件进行旋转，其特征在于：所述伯努利吸附组件包括伯努利吸盘和伯努利底座，伯努利吸盘安装于伯努利底座上，伯努利底座通过中空的外轴安装于支撑座上，外轴的内部设置有中空的连接轴，连接轴的一端向伯努利底座延伸并与伯努利吸盘进行连接，连接轴的另一端通过联轴器与旋转驱动件的输出端连接，连接轴的内部设有用于向伯努利吸盘提供气流的连接杆，连接杆的一端与伯努利吸盘进行连接，且连接杆的另一端穿过连接轴向旋转驱动件的底部延伸，旋转驱动件的底部连接有支撑架，支撑架内设置有用于过滤气流的纳米过滤器，纳米过滤器的一端通过转接头与连接杆的端部进行连接，纳米过滤器的另一端连接有进气接头。
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