奥卓真空设备技术(珠海)有限公司张永胜获国家专利权
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龙图腾网获悉奥卓真空设备技术(珠海)有限公司申请的专利一种半导体镀膜装置的阴极结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224153360U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521107081.5，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种半导体镀膜装置的阴极结构是由张永胜;庄炳河;张晓鹏;伍发根;徐旻生;杨凤鸣设计研发完成，并于2025-06-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体镀膜装置的阴极结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体镀膜装置的阴极结构，属于半导体镀膜技术领域，包括壳体，所述壳体内壁设置有固定块，所述固定块左侧面固定连接有后立柱，所述后立柱内侧设置有铰接杆，所述铰接杆远离后立柱的一侧设置有前立柱，所述前立柱左侧面固定连接有抵接块，在机械结构稳定性与灵活性方面，通过设置后立柱和前立柱作为支撑部件，并通过固定块与壳体内壁相连，为整个遮挡防护结构提供稳固基础，防止工作时晃动移位，而铰接杆连接前立柱与后立柱，使遮挡挡板如折叠门般可灵活展开与收缩，按需调整遮挡范围，在非工作时铰接杆展开，防护阴极本体和靶材本体。
本实用新型一种半导体镀膜装置的阴极结构在权利要求书中公布了：1.一种半导体镀膜装置的阴极结构，包括壳体1，其特征在于：所述壳体1内壁设置有固定块2，所述固定块2左侧面固定连接有后立柱3，所述后立柱3内侧设置有铰接杆4，所述铰接杆4远离后立柱3的一侧设置有前立柱5，所述前立柱5左侧面固定连接有抵接块6，所述前立柱5顶部固定连接有对接块7，所述抵接块6内侧面的中部设置有侧滑槽8，所述侧滑槽8内设置有导向杆9，所述导向杆9外壁滑动连接有第二滑块10，所述导向杆9外壁套接有第二弹簧11，所述第二滑块10一侧固定连接有清洁毛刷12，所述抵接块6左侧的上部与下部均设置有磁吸铁13，所述前立柱5外侧面设置有遮挡布14。
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