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龙图腾网获悉江苏超微半导体科技有限公司申请的专利一种除尘净化的四氯化硅流量控制器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224152891U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521308331.1，技术领域涉及：G05D7/06；该实用新型一种除尘净化的四氯化硅流量控制器是由周骏;肖白;李鹏飞;梅大呈设计研发完成，并于2025-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种除尘净化的四氯化硅流量控制器在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种除尘净化的四氯化硅流量控制器，包括：固定座，所述固定座的上部设置有控制盒且控制盒的内部设置有主控板，所述固定座的内部设置有气道且气道的一侧设置有出气口，所述气道的另一侧设置有连接管且连接管的侧面设置有过滤机构。本实用新型动力机构包括两组驱动轮且驱动轮之间设置有驱动轮，其中一组驱动轮与驱动轴相连接且另一组与过滤机构之间转动连接，另一组驱动轮的连接轴延伸至动力机构的外部并与驱动电机相连接，通过动力机构带动驱动轴旋转，使循环滤网转动可以对四氯化硅气体中的浮尘进行过滤，循环过滤可以有效减少滤网的堵塞，在过滤机构的内部设置有若干组吸附板可以对浮尘进行有效吸附，增加四氯化硅的洁净。

本实用新型一种除尘净化的四氯化硅流量控制器在权利要求书中公布了：1.一种除尘净化的四氯化硅流量控制器，其特征在于：包括：固定座1，所述固定座1的上部设置有控制盒2且控制盒2的内部设置有主控板11，所述固定座1的内部设置有气道17且气道17的一侧设置有出气口6，所述气道17的另一侧设置有连接管10且连接管10的侧面设置有过滤机构7，所述过滤机构7的侧面设置有进气口8，所述过滤机构7的侧面设置有动力机构9且内部设置有驱动轴18，所述驱动轴18设置有两组且两组驱动轴18之间设置有循环滤网19，所述动力机构9包括两组驱动轮且驱动轮之间设置有驱动轮，其中一组驱动轮与驱动轴18相连接且另一组与过滤机构7之间转动连接，另一组驱动轮的连接轴延伸至动力机构9的外部并与驱动电机相连接，所述过滤机构7的内部设置有若干组吸附板22，所述气道17的顶部设置有两组流道15且两组流道15之间设置有压差传感器16，所述控制盒2的侧面设置有电磁阀4且电磁阀4的上部设置有连接线5，所述连接线5与主控板11之间电性连接。

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