深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司陈太波获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司申请的专利一种用于浸润式光刻机的晶圆承载装置及浸润式光刻机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224152850U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521122046.0，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种用于浸润式光刻机的晶圆承载装置及浸润式光刻机是由陈太波设计研发完成，并于2025-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于浸润式光刻机的晶圆承载装置及浸润式光刻机在说明书摘要公布了：本申请提供一种用于浸润式光刻机的晶圆承载装置及浸润式光刻机，包括用于承载晶圆的第一承载台和第二承载台，第一承载台的一侧设置有第一交换桥，第二承载台的一侧设置有第二交换桥，晶圆与投影装置之间浸润有液体；当第一承载台位于投影装置外侧且第二承载台位于投影装置下方时，第一承载台和第二承载台适于通过第一交换桥和第二交换桥对接并移动，以进行晶圆交换；第一交换桥具有朝向斜上方的第一倾斜表面，第二交换桥具有朝向斜下方的第二倾斜表面，第一倾斜表面和第二倾斜表面对应设置，进行晶圆交换时，第一承载台和第二承载台的移动方向与第一倾斜表面的夹角呈钝角。本申请方案能够降低对承载台的运动精度的影响并降低机台宕机风险。
本实用新型一种用于浸润式光刻机的晶圆承载装置及浸润式光刻机在权利要求书中公布了：1.一种用于浸润式光刻机的晶圆承载装置，其特征在于，包括用于承载晶圆的第一承载台和第二承载台，所述第一承载台的一侧设置有第一交换桥，所述第二承载台的一侧设置有第二交换桥，所述晶圆与投影装置之间浸润有液体； 当所述第一承载台位于所述投影装置外侧且所述第二承载台位于所述投影装置下方时，所述第一承载台和所述第二承载台适于通过所述第一交换桥和所述第二交换桥对接并移动，以进行晶圆交换； 其中，所述第一交换桥具有朝向斜上方的第一倾斜表面，所述第二交换桥具有朝向斜下方的第二倾斜表面，所述第一倾斜表面和所述第二倾斜表面对应设置，进行晶圆交换时，所述第一承载台和所述第二承载台的移动方向与所述第一倾斜表面的夹角呈钝角。
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