江西万年晟光智能科技有限公司冯梦飞获国家专利权
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龙图腾网获悉江西万年晟光智能科技有限公司申请的专利一种曝光机夹具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224152847U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520803624.0，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种曝光机夹具是由冯梦飞;孙行;张磊设计研发完成，并于2025-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种曝光机夹具在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种曝光机夹具，包括夹具本体；支撑体，设置于所述夹具本体顶面，其工作面开设有若干排气孔，所述排气孔配置为喷射垂直向上气流以形成支撑基板的气膜层；导流组件，环设于所述支撑体外周缘，所述导流组件包括倾斜设置的导流板，所述导流板与所述支撑体边缘的排气孔形成夹角，用于改变边缘喷射气流的水平方向分量；负压回收组件，包括沿所述夹具本体周向设置的环状回收槽、与所述回收槽连通的回收管路以及连接于所述回收管路的负压泵，所述回收槽通过导流通道与所述排气孔形成连通回路，实现了基板的非接触式固定，提高洁净度。避免真空吸附导致的划痕、压痕。
本实用新型一种曝光机夹具在权利要求书中公布了：1.一种曝光机夹具，其特征在于，包括： 夹具本体； 支撑体，设置于所述夹具本体顶面，其工作面开设有若干排气孔，所述排气孔配置为喷射垂直向上气流以形成支撑基板的气膜层； 导流组件，环设于所述支撑体外周缘，所述导流组件包括倾斜设置的导流板，所述导流板与所述支撑体边缘的排气孔形成夹角，用于改变边缘喷射气流的水平方向分量； 负压回收组件，包括沿所述夹具本体周向设置的环状回收槽、与所述回收槽连通的回收管路以及连接于所述回收管路的负压泵，所述回收槽通过导流通道与所述排气孔形成连通回路。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江西万年晟光智能科技有限公司，其通讯地址为：335599 江西省上饶市万年县高新技术产业园丰收工业园万盛大道以东外环路以北(伊兰文科创园内)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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