捷捷微电(南通)科技有限公司周东山获国家专利权
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龙图腾网获悉捷捷微电(南通)科技有限公司申请的专利一种光罩夹持装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224152845U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520992580.0，技术领域涉及：G03F1/84；该实用新型一种光罩夹持装置是由周东山;陆晓伟设计研发完成，并于2025-05-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光罩夹持装置在说明书摘要公布了：一种光罩夹持装置，涉及半导体技术领域。该光罩夹持装置包括支撑组件、夹持组件和旋转驱动器，支撑组件包括手持部和两个支撑部，两个支撑部相对间隔设置，且一端与手持部连接、另一端与夹持组件连接；旋转驱动器设置于支撑部与夹持组件的连接处，用于驱动夹持组件绕支撑部延伸方向的轴线转动；夹持组件包括框体，框体的四角分别设置有第一气缸，第一气缸的输出端连接有第一限位板，第一限位板与框体所在的平面垂直；任意沿竖直方向设置的两第一气缸能够驱动两第一限位板相互靠近或远离以夹持光罩。上述光罩夹持装置能够提高光罩检查过程的适用性、高效性以及光罩清洁效率。
本实用新型一种光罩夹持装置在权利要求书中公布了：1.一种光罩夹持装置，其特征在于，包括支撑组件110、夹持组件120和旋转驱动器130，所述支撑组件110包括手持部111和两个支撑部112，两个支撑部112相对间隔设置，且一端与所述手持部111连接、另一端与夹持组件120连接；所述旋转驱动器130设置于所述支撑部112与所述夹持组件120的连接处，用于驱动所述夹持组件120绕所述支撑部112延伸方向的轴线转动；所述夹持组件120包括框体121，所述框体121的四角分别设置有第一气缸140，所述第一气缸140的输出端连接有第一限位板122，所述第一限位板122与所述框体121所在的平面垂直；任意沿竖直方向设置的两所述第一气缸140能够驱动两所述第一限位板122相互靠近或远离以夹持光罩200。
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