成都路维光电有限公司李俊获国家专利权
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龙图腾网获悉成都路维光电有限公司申请的专利一种烘烤设备及用于实现光掩膜版烘烤时效提升的夹具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224152844U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520995878.7，技术领域涉及：G03F1/82；该实用新型一种烘烤设备及用于实现光掩膜版烘烤时效提升的夹具是由李俊;孙多卫;郑宇辰设计研发完成，并于2025-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种烘烤设备及用于实现光掩膜版烘烤时效提升的夹具在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种烘烤设备及用于实现光掩膜版烘烤时效提升的夹具，涉及掩膜版制备技术领域，包括：夹板，所述夹板中空，并呈框型；在所述夹板沿自身周向方向均布有若干Pin柱，若干所述Pin柱均用于支撑光掩膜版的周向边缘。采用本方案，通过中间区域基本全部缕空的夹板，并悬空支撑光掩膜版，使得MASK有效区烘烤时无夹具遮挡，受热一致，使得同一张原材不同区域光刻胶与铬层附着力基本一致，并能通过设定较高的温度，从而取消第二道HardBakePDB烘烤工序。
本实用新型一种烘烤设备及用于实现光掩膜版烘烤时效提升的夹具在权利要求书中公布了：1.一种用于实现光掩膜版烘烤时效提升的夹具，其特征在于，包括： 夹板1，所述夹板1中空，并呈框型； 在所述夹板1沿自身周向方向均布有若干Pin柱2，若干所述Pin柱2均用于支撑光掩膜版的周向边缘。
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