东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司李志龙获国家专利权
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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利半导体检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224152370U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520786106.2，技术领域涉及：G01N21/95；该实用新型半导体检测设备是由李志龙;徐晓慧设计研发完成，并于2025-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体检测设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种半导体检测设备。其中半导体检测设备包括：多个工业相机，配置成采集待检测样品的图像；多个光源，与工业相机一一对应设置，分别配置成为对应的工业相机提供照明；电子束成像装置，配置成利用电子束生成待检测样品的图像；以及固定板，配置成固定多个工业相机和多个光源，并且固定板中心开设有中心孔，电子束从中心孔竖直向下穿过。本实用新型的半导体检测设备，能够为不同的工业相机提供不同亮度的照明，提升多个工业相机的成像质量；能够实现对多个光源亮度的自动调节，有效地提升多个光源的调节精度和稳定度，减少手动控制带来的不确定性。
本实用新型半导体检测设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体检测设备，其特征在于，包括： 多个工业相机，配置成采集待检测样品的图像； 多个光源，与所述工业相机一一对应设置，分别配置成为对应的所述工业相机提供照明； 电子束成像装置，配置成利用电子束生成所述待检测样品的图像；以及 固定板，配置成固定所述多个工业相机和所述多个光源，并且所述固定板中心开设有中心孔，所述电子束从所述中心孔竖直向下穿过。
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