广东威华智能技术有限公司曾伟康获国家专利权
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龙图腾网获悉广东威华智能技术有限公司申请的专利一种芯片基板TGV缺陷检测定位装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224152309U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520726437.7，技术领域涉及：G01N21/01；该实用新型一种芯片基板TGV缺陷检测定位装置是由曾伟康;何礼良;戚思维;谢宏威设计研发完成，并于2025-04-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种芯片基板TGV缺陷检测定位装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体封装检测设备技术领域，具体涉及一种芯片基板TGV缺陷检测定位装置。包括：四传感器协同定位系统，所述四传感器协同定位系统包括：第二传感器：安装于第一垂直轴模组，配置镜头及同轴平行光源，用于识别玻璃基板上的基准孔并通过Halcon算法建立平台坐标系与CAM坐标系的映射关系；还包括第一线扫传感器、第二线扫传感器以及第三线扫传感器，分别安装于第二垂直轴模组、第三垂直轴模组和第四垂直轴模组，其中第一线扫传感器通过反射镜对准通孔最小孔径，第二线扫传感器和第三线扫传感器分别对准通孔上、下孔径；本装置能够实现解决传统技术中定位偏差大、复检效率低及误检率高的问题。
本实用新型一种芯片基板TGV缺陷检测定位装置在权利要求书中公布了：1.一种芯片基板TGV缺陷检测定位装置，其特征在于，包括：四传感器协同定位系统，所述四传感器协同定位系统包括，第二传感器：安装于第一垂直轴模组，配置镜头及同轴平行光源，用于识别玻璃基板上的基准孔并通过Halcon算法建立平台坐标系与CAM坐标系的映射关系；还包括第一线扫传感器、第二线扫传感器以及第三线扫传感器，分别安装于第二垂直轴模组、第三垂直轴模组和第四垂直轴模组，其中第一线扫传感器对准通孔最小孔径，第二线扫传感器和第三线扫传感器分别对准通孔上和下孔径，第一传感器：安装于第五垂直轴模组，配置可调焦镜头及同轴光源，用于对初检缺陷进行多焦距二次成像；光路协同结构，包含反射镜，与同轴光源配合实现通孔内壁无阴影成像；运动控制系统：由多驱运动控制器同步驱动X1轴、X2轴、Y轴、Z1轴、Z2轴、Z3轴，控制玻璃基板沿弓形轨迹运动，并通过光栅尺实时反馈位置数据。
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