深圳方正微电子有限公司罗李斌获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳方正微电子有限公司申请的专利晶圆样品处理装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224152139U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520700612.5,技术领域涉及:G01N1/28;该实用新型晶圆样品处理装置是由罗李斌;余萍;宋观芬设计研发完成,并于2025-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆样品处理装置在说明书摘要公布了:本申请属于样品检测装置技术领域,公开了一种晶圆样品处理装置,包括测试装置,测试装置包括:测试平台,测试平台包括支撑座、万向连接件和载台,载台用于承托晶圆样品,载台通过万向连接件与支撑座活动连接,以使载台能够上下倾斜;吸嘴,用于拖动晶圆样品上的测试液移动。本申请能够解决现有技术中存在的自动化的晶圆检测设备占地面积较大的技术问题。
本实用新型晶圆样品处理装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆样品处理装置,其特征在于,包括测试装置,所述测试装置包括: 测试平台,所述测试平台包括支撑座、万向连接件和载台,所述载台用于承托晶圆样品,所述载台通过所述万向连接件与所述支撑座活动连接,以使所述载台能够上下倾斜; 吸嘴,用于拖动所述晶圆样品上的测试液移动。
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