合肥晶合集成电路股份有限公司刘云获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利氦气采样装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224152127U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520703047.8，技术领域涉及：G01N1/24；该实用新型氦气采样装置是由刘云;徐传芹设计研发完成，并于2025-04-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本氦气采样装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种氦气采样装置，用于气态分子污染物检测，所述氦气采样装置包括：采样口，用于进行氦气采样；流量控制单元，连接至所述采样口，所述流量控制单元包括流量控制器，用于控制氦气的采样流量；采样容器单元，连接至所述流量控制单元，所述采样容器单元包括用于进行气态分子污染物检测的采样容器。通过使从采样口流出的氦气首先经过流量控制单元控制氦气的采样流量，然后进入采样容器单元中，对氦气进行采样以用于气态分子污染物检测，实现了对氦气的有效采样，同时提高了氦气采样流量的控制精度和检测精度，为半导体制程增加保障，提高了器件良率。
本实用新型氦气采样装置在权利要求书中公布了：1.一种氦气采样装置，其特征在于，用于气态分子污染物检测，所述氦气采样装置包括： 采样口，用于进行氦气采样； 流量控制单元，连接至所述采样口，所述流量控制单元包括流量控制器，用于控制氦气的采样流量； 采样容器单元，连接至所述流量控制单元，所述采样容器单元包括用于进行气态分子污染物检测的采样容器。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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