苏州迈为科技股份有限公司吴壮获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州迈为科技股份有限公司申请的专利用于磁控溅射镀膜设备端头部件的检漏装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224151893U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202322936220.2，技术领域涉及：G01M3/02；该实用新型用于磁控溅射镀膜设备端头部件的检漏装置是由吴壮;张永胜;王世其设计研发完成，并于2023-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于磁控溅射镀膜设备端头部件的检漏装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及磁控溅射镀膜设备密封性能检验技术领域，尤其涉及一种用于磁控溅射镀膜设备端头部件的检漏装置。该用于磁控溅射镀膜设备端头部件的检漏装置包括气管和水管，气管和水管连通，且气管的一端连通氦气源，气管的另一端连通端头部件的气路；水管的一端连通气管，水管的另一端连通端头部件的水路；气管上设置有第一控制阀，第一控制阀位于水管与气管连接处的下游端，第一控制阀用于控制气路和水路的通断，氦气源用于对气管提供正压。通过气管、水管、第一控制阀和氦气源的设置能够提高检漏效率，省时省力，无需现有技术中额外增设抽真空设备获取真空条件，从而达到节约成本的目的。
本实用新型用于磁控溅射镀膜设备端头部件的检漏装置在权利要求书中公布了：1.用于磁控溅射镀膜设备端头部件的检漏装置，其特征在于，包括：气管100和水管，所述气管100和所述水管连通，且所述气管100的一端连通氦气源，所述气管100的另一端连通端头部件10的气路；所述水管的一端连通所述气管100，所述水管的另一端连通所述端头部件10的水路；所述气管100上设置有第一控制阀，所述第一控制阀位于所述水管与所述气管100连接处的下游端，所述第一控制阀用于控制所述气路和所述水路的通断，所述氦气源用于对所述气管100提供正压。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州迈为科技股份有限公司，其通讯地址为：215200 江苏省苏州市吴江区芦荡路228号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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