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山西中电科电子装备有限公司吴忠举获国家专利权

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龙图腾网获悉山西中电科电子装备有限公司申请的专利一种碳化钽CVD涂层装备用测温装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224151838U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521154687.4,技术领域涉及:G01K1/14;该实用新型一种碳化钽CVD涂层装备用测温装置是由吴忠举;田冬龙;张坚;周世豪;周毅帆;高明霞;乔志杰设计研发完成,并于2025-06-06向国家知识产权局提交的专利申请。

一种碳化钽CVD涂层装备用测温装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种碳化钽CVD涂层装备用测温装置,属于碳基材料生产装备领域;解决了现有碳化钽CVD涂层装备用测温装置难以满足高精度温度控制需求的问题;技术方案:包括多个固定螺杆,每个固定螺杆上均设置有第一调节装置和第二调节装置,固定螺杆上第一调节装置和第二调节装置之间套设有调节件,固定螺杆的一端通过炉体法兰设置于涂层装备上,固定螺杆的另一端设置有高温计安装支架,高温计安装支架设置于第一调节装置与调节件之间,高温计安装支架上开设有第一通孔,第一通孔与开设于炉体法兰上的炉体高温计观察孔同轴设置;本实用新型应用于碳化钽CVD涂层装备。

本实用新型一种碳化钽CVD涂层装备用测温装置在权利要求书中公布了:1.一种碳化钽CVD涂层装备用测温装置,其特征在于:包括多个固定螺杆1,每个所述固定螺杆1上均设置有第一调节装置2和第二调节装置3,所述固定螺杆1上第一调节装置2和第二调节装置3之间套设有调节件4,第一调节装置2、第二调节装置3和调节件4相互配合; 固定螺杆1的一端通过炉体法兰5设置于涂层装备上,固定螺杆1的另一端设置有高温计安装支架6,高温计安装支架6设置于第一调节装置2与调节件4之间; 高温计安装支架6上开设有第一通孔7,第一通孔7与设置于高温计安装支架6上的高温计的测温点同轴设置,第一通孔7与开设于炉体法兰5上的炉体高温计观察孔8同轴设置,炉体高温计观察孔8与涂层装备内的待测温区相对应。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人山西中电科电子装备有限公司,其通讯地址为:030032 山西省太原市山西转型综合改革示范区潇河产业园北格街8号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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