荣芯半导体(宁波)有限公司王朝辉获国家专利权
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龙图腾网获悉荣芯半导体(宁波)有限公司申请的专利一种半导体晶圆膜厚检测仪获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224151692U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520858241.3，技术领域涉及：G01B21/08；该实用新型一种半导体晶圆膜厚检测仪是由王朝辉;阚保国;徐康;陈伏宏;姜波设计研发完成，并于2025-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体晶圆膜厚检测仪在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体晶圆膜厚检测仪，包括检测仪壳体，检测仪壳体的顶部具有风机，检测仪壳体内固定安装有冷却水管，冷却水管的两端分别固定在检测仪壳体的相对两个侧面，冷却水管的一端为进水口，另一端为出水口，出水管通过出水管道连接回水箱，检测仪壳体内设有温度传感器。通过在膜厚检测仪的壳体内加装冷却水管，通过冷却水管通入冷却水结合顶部风机进行降温，并通过温度传感器监测温度以控制冷却水的流量，对检测仪壳体内的温度进行高效、精准控制，减少设备保养和故障排除时的复机时间，增强机台量测的稳定性和准确性，提高设备的运行效率和生产效益，满足半导体测量行业对高精度量测设备的需求。
本实用新型一种半导体晶圆膜厚检测仪在权利要求书中公布了：1.一种半导体晶圆膜厚检测仪，包括检测仪壳体，检测仪壳体的顶部具有风机，检测仪壳体的侧面具有维护门，其特征在于，检测仪壳体内固定安装有冷却水管，冷却水管的两端分别固定在检测仪壳体的相对两个侧面，冷却水管的一端为进水口，另一端为出水口，进水口通过进水管道连接冷却水源，出水管通过出水管道连接回水箱，检测仪壳体内设有温度传感器，冷却水管通过抱箍固定在检测仪壳体内，且在检测仪壳体内蜿蜒延伸，进水管道上设有流量计、控制阀。
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