淮安捷泰新能源科技有限公司张大勇获国家专利权
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龙图腾网获悉淮安捷泰新能源科技有限公司申请的专利硅片烘干装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224151347U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521016315.5,技术领域涉及:F26B15/14;该实用新型硅片烘干装置是由张大勇设计研发完成,并于2025-05-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本硅片烘干装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种硅片烘干装置,包括烘干槽、输送机构及加热机构。输送机构能够带动装载有硅片的花篮穿过烘干腔。在花篮穿过烘干腔的过程中,经过加热的空气可经进风口110吹入烘干腔,从而提升烘干腔内的温度并加快花篮及硅片表面的气流速度,从而将水汽快速从排风口排出。与此同时,烘干槽的底部的加热板也同步进行加热,从而能够补偿由排风口损失的热量,以维持烘干腔内较高的温度,确保烘干效果。而且,加热板还与输送机构上花篮的底部距离较近,故可直接烘干花篮及硅片的底部,从而提升花篮及硅片的底部烘干的速度。可见,上述硅片烘干装置能够显著提升烘干效率。
本实用新型硅片烘干装置在权利要求书中公布了:1.一种硅片烘干装置10,其特征在于,包括: 烘干槽100,具有烘干腔101,所述烘干槽100长度方向的两端分设置有与所述烘干腔101连通的进风口110及排风口120; 输送机构200,沿所述烘干槽100的长度方向贯穿所述烘干槽100,所述输送机构200能够承载并沿所述烘干槽100的长度方向输送硅片,以使所述硅片穿过所述烘干腔101;及 加热机构300,包括加热板310,所述加热板310收容于所述烘干腔101并安装于所述烘干槽100的底部,且所述加热板310沿所述烘干槽100的长度方向延伸。
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