无锡海浥半导体科技有限公司王宜获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡海浥半导体科技有限公司申请的专利一种带分隔结构的IPA干燥设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224151339U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521048980.2，技术领域涉及：F26B11/18；该实用新型一种带分隔结构的IPA干燥设备是由王宜设计研发完成，并于2025-05-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种带分隔结构的IPA干燥设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种带分隔结构的IPA干燥设备，包括干燥箱；IPA蒸汽输送组件，包括连通的IPA蒸汽输送管道和分流管道、与分流管道接通的圆环管道、与圆环管道通过螺旋接通的第一喷嘴；分隔组件，包括平行的第一隔板和第二隔板、垂直第一隔板的立杆，该第二隔板内设有支撑环；改变晶圆工件位置的调节组件，包括与第一隔板通过螺丝固定的电推杆、固定框、安装在固定框内部的驱动电机、与驱动电机输出轴固定连接的限定块、旋转盘；通过设计的分隔组件，第一隔板和第二隔板将干燥箱内部空间分隔，利于不同空间内的IPA蒸汽分别干燥工件的正面和背面，第一喷嘴喷出的IPA蒸汽干燥工件的正面，第二喷嘴的IPA蒸汽干燥工件的背面。
本实用新型一种带分隔结构的IPA干燥设备在权利要求书中公布了：1.一种带分隔结构的IPA干燥设备，其特征在于：包括 干燥箱1； IPA蒸汽输送组件，包括连通的IPA蒸汽输送管道21和分流管道22、与分流管道22接通的圆环管道23、与圆环管道23通过螺旋接通的第一喷嘴24； 分隔组件，包括平行的第一隔板31和第二隔板33、垂直第一隔板31的立杆32，该第二隔板33内设有支撑环34； 改变晶圆工件位置的调节组件，包括与第一隔板31通过螺丝固定的电推杆5、固定框6、安装在固定框6内部的驱动电机7、与驱动电机7输出轴固定连接的限定块71、旋转盘8； IPA蒸汽循环组件，包括安装在干燥箱1内部的循环风机41、与循环风机41出气口连通的排出管42、与排出管42连通的弧形管43、与弧形管43螺旋接通的第二喷嘴44、与循环风机41进气口连通的连接管道45、与连接管道45接通的第一进气口46和第二进气口47。
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