浙江创芯集成电路有限公司朴骏哲获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利闸阀装置以及半导体加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224150205U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521160088.3，技术领域涉及：F16K5/06；该实用新型闸阀装置以及半导体加工设备是由朴骏哲设计研发完成，并于2025-06-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本闸阀装置以及半导体加工设备在说明书摘要公布了：一种闸阀装置以及半导体加工设备，其中闸阀装置包括：阀体，所述阀体内具有空腔、第一过流口以及第二过流口；第一流道，所述第一流道位于阀体内，且所述第一流道与所述第一过流口连接；第二流道，所述第二流道位于阀体内，所述第二流道与所述第二过流口连接；阀门，所述阀门位于所述空腔内，所述阀门的形状与所述空腔的形状相匹配，且所述阀门在空腔内旋转活动，其中所述阀门的形状为球体；阀腔，所述阀腔位于阀门内，且所述阀腔贯穿于所述阀门。通过在阀体内设置球形的阀门、以及与所述球形的阀门形状相匹配的空腔，使得所述阀门能够在在空腔内旋转活动，以实现阀门控制第一流道和第二流道之间的快速连通或快速截断，提高闸阀装置的工作效率。
本实用新型闸阀装置以及半导体加工设备在权利要求书中公布了：1.一种闸阀装置，其特征在于，包括： 阀体，所述阀体内具有空腔、第一过流口以及第二过流口； 第一流道，所述第一流道位于阀体内，且所述第一流道与所述第一过流口连接； 第二流道，所述第二流道位于阀体内，所述第二流道与所述第二过流口连接； 阀门，所述阀门位于所述空腔内，所述阀门的形状与所述空腔的形状相匹配，且所述阀门在空腔内旋转活动，其中所述阀门的形状为球体； 阀腔，所述阀腔位于阀门内，且所述阀腔贯穿于所述阀门。
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