海创智能装备(烟台)有限公司张富文获国家专利权
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龙图腾网获悉海创智能装备(烟台)有限公司申请的专利一种用于半导体设备的紧凑型传动机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224150114U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521062981.2，技术领域涉及：F16H37/02；该实用新型一种用于半导体设备的紧凑型传动机构是由张富文;祝晓鹏;张文庆;李超设计研发完成，并于2025-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体设备的紧凑型传动机构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体设备技术领域，特别涉及一种用于半导体设备的紧凑型传动机构，包括固定件、轴承座、驱动件、传动组件、波纹管组件与工艺腔体，所述驱动件设于所述固定件上，所述传动组件的一端与所述驱动件连接，另一端与所述波纹管组件连接，所述波纹管组件远离所述传动组件的一端与所述工艺腔体连接。通过波纹管组件来顶出工艺腔体，由于波纹管组件中的波纹管具有自压缩功能，可以通过自身压缩来顶升工艺腔体，从而使自身及上方部件不需要向下方产生位移，从而达到节省空间的作用。
本实用新型一种用于半导体设备的紧凑型传动机构在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体设备的紧凑型传动机构，其特征在于，包括固定件、轴承座、驱动件、传动组件、波纹管组件与工艺腔体，所述驱动件设于所述固定件上，所述传动组件的一端与所述驱动件连接，另一端与所述波纹管组件连接，所述波纹管组件远离所述传动组件的一端与所述工艺腔体连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人海创智能装备(烟台)有限公司，其通讯地址为：264000 山东省烟台市中国(山东)自由贸易试验区烟台片区宁波路17号海创大厦10层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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